一种气液分离装置的制作方法

1.本实用新型涉及分离装置技术领域，尤其涉及一种气液分离装置。


背景技术：

2.在薄膜晶体管液晶显示器(tft-lcd)生产行业中，玻璃基板在腔室内进行水清洗或药液刻蚀工艺时，会将腔室内的废气进行排放，由于废气中含有液体，例如水、药液等，因此在废气排放之前需要经过气液分离处理，以便将药液进行回收再利用，减少排气管内壁积水现象，防止液体腐蚀排气管，以及尽可能的防止含有药液的气体排放至空气中污染环境。
3.现有技术中的气液分离装置通常只经过一道过滤网进行水汽分离，分离效果不太理想，使药液难以充分回收再利用，还会使排气管内壁容易出现积水现象，液体腐蚀排气管，甚至有可能造成环境污染。


技术实现要素：

4.为了解决现有技术中存在的问题，本技术提出了一种气液分离装置，其通过使气液经过两次分离，能尽可能的将药液进行回收再利用，节约生产成本。
5.为了实现上述目的，本技术提出了一种气液分离装置，包括壳体，所述壳体上设有进气口，在所述壳体内设有支撑架，所述支撑架上设有一次分离机构，所述一次分离机构用于对从进气口进入的废气进行气液分离，在所述支撑架的下方设有盒体，所述盒体包括侧壁以及顶板，出气管道的一端处在所述盒体内，所述出气管道的另一端穿过所述壳体，在所述盒体侧壁与出气管道之间设有二次分离机构，所述二次分离机构用于对一次分离机构分离后的气体进行二次气液分离，在所述壳体的底板处设有引流管。
6.在一些实施例中，所述一次分离机构采用丝圈或海绵。
7.在一些实施例中，所述丝圈或海绵与所述壳体的侧壁相接触。
8.在一些实施例中，所述二次分离机构包括设置在所述盒体侧壁与出气管道之间的呈环状的上连接架和下连接架，在所述上连接架和下连接架之间设有分离层。
9.在一些实施例中，所述分离层采用过滤网。
10.在一些实施例中，所述顶板呈圆锥状。
11.在一些实施例中，所述壳体的底板呈倾斜状，在所述底板的最低端设有引流管。
12.在一些实施例中，所述进气口设置在所述壳体的上盖板处，或者设置在所述壳体侧壁的上端处。
13.在一些实施例中，所述壳体上设有第一连接件，所述第一连接件用于使所述壳体与进气管相连接；在所述出气管道的另一端设有用于连接出气管的第二连接件。
14.在一些实施例中，所述第一连接件采用进口法兰，所述第二连接件采用出口法兰。
15.本技术的该方案的有益效果在于上述气液分离装置，通过使气液经过两次分离，能尽可能的将药液进行回收再利用，节约生产成本；这样还能有效的减轻排气管内壁积水
现象，尽可能避免液体腐蚀排气管，以及能尽可能的防止含有药液的气体排放至空气中污染环境。
附图说明
16.图1示出了实施例中气液分离装置的局部结构示意图。
17.图2示出了实施例中气液分离装置的剖面结构示意图。
18.图3示出了实施例中二次分离机构以及盒体的爆炸结构示意图。
19.附图标记：1-壳体，2-进口法兰，3-支撑架，4-一次分离机构，5-盒体，6-出气管道，7-二次分离机构，8-出口法兰，9-引流管，11-底板，51-侧壁，52-顶板，71-上连接架，72-下连接架，73-分离层。
具体实施方式
20.下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明。
21.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不是用于描述或表示特定的顺序或先后次序，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
22.如图1～3所示，本技术所涉及的气液分离装置包括壳体1，所述壳体1上设有进气口，所述进气口可以设置在所述壳体1的上盖板处，也可以设置在所述壳体1侧壁的上端处。在本实施例中，所述壳体1上设有第一连接件，所述第一连接件用于使所述壳体1与进气管相连接，在本实施例中，所述第一连接件采用进口法兰2。
23.在所述壳体1内设有支撑架3，所述支撑架3上设有一次分离机构4，所述一次分离机构4用于对从进气口进入的废气进行气液分离，在本实施例中，所述一次分离机构4可采用丝圈、海绵等，所述丝圈或海绵与所述壳体1的侧壁相接触，以便使气体尽可能的都经过一次分离机构4的分离处理。由于丝圈、海绵内部呈不规则的结构，因此废气进入丝圈或海绵后，气流大都沿“s”路线行进，这样便可以从废气中分离出大量的液体，由于所述支撑架3是镂空的，分离后的气体可以继续向下行进。
24.在所述支撑架3的下方设有盒体5，在本实施例中，可以将所述支撑架3以及盒体5分别固定在壳体1内；也可以将所述支撑架3固定在壳体1内，所述盒体5固定在所述支撑架3上；还可以将所述盒体5固定在壳体1内，所述支撑架3固定在盒体5上，只要使所述支撑架3、盒体5均相对壳体1固定，且使支撑架3处于上方、盒体5处于下方即可。
25.所述盒体5包括侧壁51以及顶板52，为了使分离效果更佳，所述顶板52呈圆锥状，出气管道6的一端处在所述盒体5内，所述出气管道6的另一端穿过所述壳体1，所述出气管道6的另一端用于连接出气管，在本实施例中，在所述出气管道6的另一端设有用于连接出气管的第二连接件，所述第二连接件采用出口法兰8。在所述盒体5侧壁51与出气管道6之间设有二次分离机构7，所述二次分离机构7用于对一次分离机构4分离后的气体进行二次气液分离，所述二次分离机构7包括设置在所述盒体5侧壁51与出气管道6之间的呈环状的上连接架71和下连接架72，在所述上连接架71和下连接架72之间设有分离层73，所述分离层
可采用过滤网，所述过滤网的密度比一次分离机构4中的丝圈或者海绵更大一些，这样便可以进一步分离出一部分液体。
26.为了方便收集分离出的液体，在所述壳体1的底板11处设有引流管9，以便将壳体1内分离出的液体引流出去。为了尽可能的将壳体1内的液体进行收集，所述壳体1的底板11呈倾斜状，在所述底板11的最低端设有引流管9。
27.在具体的使用过程中，气流按照图2中箭头的方向流动：来自进气管的废气进入所述壳体1内，首先经过所述一次分离机构4进行气液分离，分离后的气体继续向下行进，由于所述壳体1的侧壁以及底板11的设置，会使得气体经二次分离机构7进入所述盒体5内，当经过二次分离机构7时，气体会进行二次气液分离，分离后的气体遇到盒体5的顶板52时，如若还有液体，液体可能会附着在顶板52处，气体会向下折返，经由出气管道6排出至出气管中。
28.本技术所涉及的气液分离装置，通过使气液经过两次分离，能尽可能的将药液进行回收再利用，节约生产成本；这样还能有效的减轻排气管内壁积水现象，尽可能避免液体腐蚀排气管，以及能尽可能的防止含有药液的气体排放至空气中污染环境。
29.以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。