技术编号:3247219
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种容器,具体的说,是一种存放化学机械研磨液的容器。背景技术在微电子领域,晶圓的研磨是一个不可缺少的生产环节。化学机械研磨液 是晶圓研磨必须使用的研磨液。研磨液是一种混合液,由多种化学元素根据合 理比例混合而成。研磨液装在化学机械研磨容器中。现有化学机械研磨液容器如附图l所示,它包括容器本体13,设置于容器本体13下部并且和容器本体 13相连的出液管道12,设置于容器本体13上部并且深入容器本体13内部的直 插式入液管道11。使用时通过水泵1...
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