专利名称：一种改进型化学机械研磨液容器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种容器，具体的说，是一种存放化学机械研磨液的容器。
背景技术：
在微电子领域，晶圓的研磨是一个不可缺少的生产环节。化学机械研磨液 是晶圓研磨必须使用的研磨液。研磨液是一种混合液，由多种化学元素根据合 理比例混合而成。研磨液装在化学机械研磨容器中。现有化学机械研磨液容器
如附图l所示，它包括容器本体13,设置于容器本体13下部并且和容器本体 13相连的出液管道12,设置于容器本体13上部并且深入容器本体13内部的直 插式入液管道11。使用时通过水泵15将研磨液14从出液管道12泵出，使用好 以后研磨液14再通过入液管道11回到容器本体13中，重复使用。
当研磨液14在化学机械研磨容器本体13中存放或使用时间久时，由于研 磨液14流动性差，研磨液14中的化学元素会从研磨液14中析出，在容器本体 13的内壁上形成结晶颗粒，使研磨液14中的化学元素组成比例失调，并且结晶 颗粒会使晶圓表面划伤，影响产品质量。这就要求容器13要经常用去离子水清 洗，把容器本体13内壁上的结晶颗粒去处干净，整个放净旧研磨液14,清洗， 配置新研磨液14的过程需要4. 5小时，影响生产效率。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是，改变目前研磨液在容器本体内壁上易 形成结晶颗粒，使研磨液中的化学元素组成比例失调，并且结晶颗粒会使晶圓 表面划伤，影响产品质量的问题。
为了解决上述技术问题，本发明采用了如下技术手段 一种改进型化学机 械研磨液容器，它包括容器本体，设置于容器本体下部并且和容器本体相连 的出液管道，设置于容器本体上部并且深入容器本体内部的入液管道，其改进
点在于所述的在容器本体内部的这部分入液管道为环形结构，并且在这部分 环形结构入液管道上设置有若干朝向容器本体内壁的喷口 。
在上述的改进型化学机械研磨液容器中，所述的在容器本体内部的这部分 环形结构入液管道高于容器本体中液面。
在上述的改进型化学机械研磨液容器中，所述的在容器本体内部的这部分 环形结构入液管道和容器本体横截面平行。
在上述的改进型化学机械研磨液容器中，所述的在容器本体内部的这部分 环形结构入液管道为圆型。
在上述的改进型化学机械研磨液容器中，所述的在容器本体内部的这部分 环形结构入液管道为方型。
在上述的改进型化学机械研磨液容器中，所述的在容器本体内部的这部分 环形结构入液管道为不规则多边型。
本实用新型的改进型化学机械研磨液容器由于采用了上述技术方案，使之 与现有技术相比，具有以下优点和积极效果将原先的直插式入液管道改进为 在容器本体内部环形结构的入液管道与容器本体横截面平行的结构，在该环形
结构入液管道上设置有若干朝向容器本体内壁的喷口并且该环形结构入液管道 高于容器本体中液面，当使用后的研磨液流回容器冬体中时，通过朝向研磨池 内壁的喷口喷向研磨池内壁，使内壁保持湿润，并且使紧贴内壁的研磨液保持 较高的流动性，不易使研磨液在内壁形成结晶颗粒，保证了研磨质量，减少了 清洗化学机械研磨容器的次数，提高了生产效率。
本实用新型的改进型化学机械研磨液容器由以下的实施例及附图给出。
图1为现有化学机械研磨液容器结构示意图。
图2为本实用新型化学机械研磨液容器一种具体实施例结构示意图。
图3为本实用新型化学机械研磨液容器本体内部环形结构入液管道及喷口 结构示意图。
具体实施方式
以下将结合附图对本实用新型化学机械研磨液容器作进一步的详细描述， 具体为以下实施方式
如图2所示，本实用新型化学机械研磨液容器包括容器本体23，设置于 容器本体23下部并且和容器本体23相连的出液管道22,设置于容器本体23上 部并且在容器本体23内部一段为环状结构的入液管道21，在容器本体23内部 一段为环状结构的入液管道21高于容器本体23中研磨液24的液面，该环状结 构入液管道21和容器本体23的一黄截面平行，在该环形结构入液管道21上设置 有若干朝向容器本体23内壁的喷口 26,喷口 26的数量设置以保证容器本体23 的内壁四周都能得到喷口 26喷出的研磨液24为标准。使用时通过水泵25将研 磨液24从出液管道22泵出，当使用后的研磨液24流回容器本体23中时，通 过朝向容器本体23内壁的喷口 26喷向容器23内壁；使内壁保持湿润，且使紧 贴内壁的研磨液保持较高的流动性，不易使研磨液在内壁形成结晶颗粒，从而 減少清洗化学机械研磨池的次数，提高了生产效率，保证了研磨质量。
如图2所示，上述实施例中的实用新型化学机械研磨液容器本身的形状为 圓桶型但不局限于圓桶型。
如图2所示，上述实施例中的实用新型化学机械研磨液容器中，所述的在 容器本体内部一段为环形结构的入液管道为圆型但不局限与圓型，可根据容器本体的形状做适当调整，如方型，不规则多边型
上述实施例中的实用新型化学机械研磨液容器中，所述的喷口数量设置以 保证容器本体内壁四周都能得到喷口喷出的研磨液为标准，如图3所示，喷口 36共有6只，均匀分布在容器本体内部一段为环形结构的入液管道31上，该容 器本体内部环形结构入液管道为圆型。
权利要求1. 一种改进型化学机械研磨液容器，它包括容器本体，设置于容器本体下部并且和容器本体相连的出液管道，设置于容器本体上部并且深入容器本体内部的入液管道，其特征在于所述的在容器本体内部的这部分入液管道为环形结构，并且在这部分环形结构入液管道上设置有若干朝向容器本体内壁的喷口。
2. 根据权利要求1所述的改进型化学机械研磨液容器，其特征在于，所 述的在容器本体内部的这部分环形结构入液管道高于容器本体中液面。
3. 根据权利要求1所述的改进型化学机械研磨液容器，其特征在于，所 述的在容器本体内部的这部分环形结构入液管道和容器本体横截面平行。
4. 根据权利要求1所述的改进型化学机械研磨夜容器，其特征在于，所 述的在容器本体内部的这部分环形结构入液管道为圆型。
5. 根据权利要求1所述的改进型化学机械研磨液容器，其特征在于，所
6. 根据权利要求1所述的改进型化学机械研磨液容器，其特征在于，所 述的在容器本体内部的这部分环形结构入液管道为不规则多边型。
专利摘要本实用新型提供了一种改进型化学机械研磨液容器，其包括容器本体，设置于容器本体下部并且和容器本体相连的出液管道，设置于容器本体上部并且深入容器本体内部的入液管道，所述的入液管道为环形结构，所述环形结构入液管道上设置有若干朝向容器内壁的喷口，所述环形结构入液管道高于容器中液面，所述的环形结构入液管道和容器横截面平行。本实用新型的改进型化学机械研磨液容器，由于其入液管道结构的改进，防止了研磨液在容器内壁形成结晶颗粒，保证了研磨液各化学成分的合理比例，保证了产品质量。
文档编号B24B57/00GK201077028SQ20072007194
公开日2008年6月25日 申请日期2007年6月29日 优先权日2007年6月29日
发明者陈肖科 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司