技术编号:3247238
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及换向装置,尤其涉及一种具关闭不严提示功能的换向装置。技术背景化学气相沉积设备通常设置有与反应腔相连且用于供反应气体通入或排出 反应腔的反应气体进/出气管道,所述反应气体进/出气管道上通常设置有换向 阀。所述换向阀用于控制反应气体进出反应腔,在反应气体进气管道上的换向 阀通常为具有一进气管、 一出气管和一排气管的三通换向岡,所述进气管和反 应气体进气管道相连,所述出气管通过反应气体进气管道连接至反应腔,所述 排气管与一抽风泵相连,当控制反应气体...
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