专利名称：一种具关闭不严提示功能的换向装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及换向装置，尤其涉及一种具关闭不严提示功能的换向装置。
技术背景化学气相沉积设备通常设置有与反应腔相连且用于供反应气体通入或排出 反应腔的反应气体进/出气管道，所述反应气体进/出气管道上通常设置有换向 阀。所述换向阀用于控制反应气体进出反应腔，在反应气体进气管道上的换向 阀通常为具有一进气管、 一出气管和一排气管的三通换向岡，所述进气管和反 应气体进气管道相连，所述出气管通过反应气体进气管道连接至反应腔，所述 排气管与一抽风泵相连，当控制反应气体进入反应腔时，需驱动三通换向阀进气管和出气管相通；而在反应气体出气管的换向阀通常为具有一进气管和一出 气管的二通换向阀，所述进气管通过反应气体出气管道连接至反应腔，所述出 气管与一抽风泵相连，当控制反应气体排出反应腔时，需驱动进气管和出气管 相通。 .针对上述设置在反应气体进/出气管道上的换向阀，现在通过定期^r查来发 现其关闭不严等故障。但是，若在故障检测之前或之后出现关闭不严的故障时， 会因反应气体的进出异常而影响化学气相沉积设备加工产品的质量，在下次检 测而检测出换向阀的故障前，会生产出一大批有质量问题的产品，从而造成严 重的经济损失。因此，如何提供一种具关闭不严提示功能的换向装置以实时检测出换向装 置的关闭不严，已成为业界亟待解决的技术问题。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种具关闭不严提示功能的换向装置，'通过所 述换向装置可实时检测出关闭不严的故障。本实用新型的目的是这样实现的 一种具关闭不严提示功能的换向装置，其设置在一具有反应腔化学气相沉积设备的反应气体进/出气管道上，所述换向 装置包括一连接在进/出气管道上且用于控制反应气体进/出反应腔的换向阀， 所述换向装置还包括串联连接在换向阀上的 一 气压表、 一用于依据气压'表的示 值以及换向阀的状态判断换向阀是否关闭不严的判断模块和一用于在判断模块 判断出换向阀关闭不严时启动以提示使用者的提示模块。在上述的具关闭不严提示功能的换向装置中，所述提示模块为蜂鸣器。 在上述的具关闭不严提示功能的换向装置中，所述提示模块为黄闪灯。 在上述的具关闭不严提示功能的换向装置中，所述换向阀为具有一进气管、 一出气管和一排气管的三通换向阀，所述进气管与反应气体进气管道相连，所 述出气管通过反应气体进气管道连接至反应腔，所述排气管与所述气压表相连。 在上述的具关闭不严楫示功能的换向装置中，所述气压表一举与排气管相 连，另一端与一抽风泵相连，其中，所述抽风泵通过抽风以确保排气管的真空。 在上述的具关闭不严提示功能的换向装置中，所述换向岡为具有一进气管 和一 出气管的二通换向阀，所述进气管通过反应气体出气管道连接至反应腔， 所述出气管与一截止阀相连，其中，所述截止阀连接在换向阀与气压表间。在上述的具关闭不严提示功能的换向装置中，所述气压表一端'与所述截止 阀相连，另一端与一抽风泵相连，其中，所述抽风泵用于驱动反应腔的气体排 出。与现有技术中换向装置仅包括一换向阀而无法检测出换向阀的关闭不严故 障相比，本实用新型的具关闭不严提示功能的换向装置在换向阀后串联连接一严，且在关闭不严时启动提示功能以提示使用者，如此可避免换向阀关闭不严 所造成的经济损失。
本实用新型的具关闭不严提示功能的换向装置由以下的实施例及附图给出。图1为本实用新型的具关闭不严提示功能的换向装置的第一实施例的结构示意图；图2为本实用新型的具关闭不严提示功能的换向装置的第二实施例的结构 示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的具关闭不严提示功能的换向装置作进一步的详细描述。 ，参见图1，显示了本实用新型的具关闭不严提示功能的换向装置的第一实施例的组成结构，如图所示，本实用新型的具关闭不严提示功能的换向装置设置在具有反应腔(未图示)的化学气相沉积设备2的反应气体进气管20上，其包括换向阀10、气压表ll、判断模块12和提示模块13。以下对本实施例的具关闭不严提示功能的换向装置的上述构件进行详细说明。换向阀10连接在进气管20上且用于控制反应气体进入反应腔(未图示)。 在本实施例中，所述换向阀IO为三通换向阀，其包括进气管100、出气管101 和排气管102,所述进气管IOO与反应气体进气管20相连，所述出气管101通 过反应气体进气管道20连接至反应腔，所述排气管102与气压表11相连。需说明的是，所述换向阀IO还包括控制单元和阀芯(为筒化图示，控制单 元和阀芯并未进行图示)，所述控制单元用于控制反应气体流向，所述阀芯在 控制单元的控制下移动以连通或截断进气管100和出气管101而使气体进入或 停止进入反应腔。气压表ll的Al端与排气管102相连，A2端与抽风泵3相连，其中，所述 抽风泵3通过抽风以确保排气管102的真空。判断模块12用于依据气压表11的示值以及换向阀10的状态判断换向阀10 是否关闭不严。提示模块13用于在判断模块12判断出换向阀10关闭不严时启动以提示使 用者，所述提示模块13可实施为蜂鸣器或黄闪灯。在本实施例中，所述提示模 块13为蜂鸣器。在本实施例中，当换向阀IO的阀芯在控制单元的控制下截断进气管100和 出气管101的连接时，此时若换向阀10不存在关闭不严的问题时，压力表11 的示值在O毫托附近，当换向阀IO存在关闭不严的问题时，气压表ll会出现上百毫托的示值，此时判断模块12依据气压表11的上百毫托的示值以及换向 阀10处于关闭状态判断出换向阀10存在着关闭不严的问题，此时，提示模块 13就会发出蜂鸣声以提示使用者换向阀IO关闭不严。参见图2,显示了本实用新型的具关闭不严提示功能的换向装置的第二实施 例的组成结构，如图所示，本实用新型的具关闭不严提示功能的换向装置设置 在具有反应腔(未图示)化学气相沉积设备2的反应气体排出管道21上，其包 括换向阀40、截止阀41、气压表42、判断模块43和提示模块44。所述判断模 块43与第一实施例中的判断模块12相同，以下对本实施例的具关闭不严提示 功能的换向装置的其他构件进行详细说明。 '换向阀40连接在出气管21上且用于控制反应气体排出反应腔(未图示)。 在本实施例中，换向阀40为二通换向阀，其具有进气管400和出气管401,所 述进气管400通过反应气体出气管21连接至反应腔，所述出气管401通过反.应 气体出气管21与截止阀41相连。截止阀41的Bl端通过反应气体出气管21与出气管401相连，B2端通过反 应气体出气管21与气压表42相连。气压表42的Cl端通过反应气体出气管21与截止阀41的B2端相连，C2端 通过反应气体出气管21与抽风泵3相连，所述抽风泵3用于驱动反应腔的气体 排出。 .'提示模块44用于在判断模块43判断出换向阀10关闭不严时启动以提示使 用者，所述提示模块"可实施为蜂鸣器或黄闪灯。在本实施例中，所述提示模 块44为黄闪灯。在本实施例中，当换向阀40关闭时即截断进气管40和出气管41的连^妻时， 此时若换向阀40存在关闭不严的问题时，气压表42就会出现上百毫托的示值， 此时判断模块43依据气压表42的示值以及换向阀40处于关闭状态判断换向阀 40存在着关闭不严的问题，此时，提示模块44就会闪烁以提示使用者换向阀 40关闭不严。需说明的是，当换向阀40存在关闭不严的问题时，可将换向阀40'设置在 常开状态，而暂时使用截止阀41替代换向阀40来控制反应气体排出反应腔。 综上所述，本实用新型的具关闭不严提示功能的换向装置在换向阀后串联连接一气压表，然后通过气压表的示值和换向阀的状态来实时检测换向阀是否 关闭不严，且在关闭不严时启动提示功能以提示使用者，如此可避免换向阀关 闭不严所造成的经济损失。
权利要求1、一种具关闭不严提示功能的换向装置，其设置在一具有反应腔的化学气相沉积设备的反应气体进/出气管道上，所述换向装置包括一连接在进/出气管道上且用于控制反应气体进/出反应腔的换向阀，其特征在于，所述换向装置还包括串联连接在换向阀上的一气压表、一用于依据气压表的示值以及换向阀的状态判断换向阀是否关闭不严的判断模块和一用于在判断模块判断出换向阀关闭不严时启动以提示使用者的提示模块。
2、 如权利要求1所述的具关闭不严提示功能的换向装置，其特征在于，所 述提示模块为蜂鸣器。
3、 如权利要求l所述的具关闭不严提示功能的换向装置，其特征在于，所 述提示模块为黄闪灯。
4、 如权利要求l所述的具关闭不严提示功能的换向装置，其特征在于，所 述换向阀为具有一进气管、 一出气管和一排气管的三通换向阀，所述进气管与 反应气体进气管道相连，所述出气管通过反应气体进气管道连接至反应腔，所 述排气管与所述气压表相连。 '
5、 如权利要求4所述的具关闭不严提示功能的换向装置，其特征在于，所 述气压表一端与排气管相连，另一端与一抽风泵相连，其中，所述抽风泵通过 抽风以确保排气管的真空。
6、 如权利要求l所述的具关闭不严提示功能的换向装置，其特征在于，所 述换向阀为具有一进气管和一出气管的二通换向阀，所述进气管通过反应气体 出气管道连接至反应腔，所述出气管与一截止阀相连，其中，所述截止阀连接 在换向阀与气压表间。
7、 如权利要求6所述的具关闭不严提示功能的换向装置，其特征在于，所 述气压表一端与所述截止阀相连，另一端与一抽风泵相连，其中，所述'抽风泵 用于驱动反应腔的气体排出。
专利摘要本实用新型提供了一种具关闭不严提示功能的换向装置。现有技术中反应气体进/出气管道上仅设置有一换向阀以控制反应气体进/出反应腔，当换向阀关闭不严时会影响产品质量且造成严重损失。本实用新型的具关闭不严提示功能的换向装置，设置在具有反应腔的化学气相沉积设备的反应气体进/出气管道上，其包括一连接在进/出气管道上且用于控制反应气体进/出反应腔的换向阀、一串联连接在换向阀上的一气压表、一用于依据气压表的示值及换向阀的状态判断换向阀是否关闭不严的判断模块和一用于在判断模块判断出换向阀关闭不严时启动以提示使用者的提示模块。本实用新型可实时检测出换向阀的关闭不严并发出提示，避免了因此所造成的损失。
文档编号C23C16/00GK201089795SQ20072007381
公开日2008年7月23日 申请日期2007年8月20日 优先权日2007年8月20日
发明者张文锋 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司