技术编号:3248403
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型有关于一种溅镀机结构,尤指一种溅镀机的阀门控制装置。技术背景习知的溅镀机,其包括有数个腔室,各腔室间连接有一阀门,该阀门一侧设有 一控制装置,藉以控制各腔室的连通或关闭。其中该溅镀机阀门的控制装置,请参阅中国TW公开编号第200700571号的发 明专利,其系设于溅镀机个腔室阀门的一侧,包含有一连接支架,内穿设有一转轴, 转轴一端与溅镀机阀门连接,转轴上套设有磁性流体以做为阻隔气密之用。 一连接 杆,设于连接支架的一侧,并与转轴连接。 一动力源,...
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