专利名称：溅镀机的阀门控制装置的制作方法
技术领域：
本实用新型有关于一种溅镀机结构，尤指一种溅镀机的阀门控制装置。
技术背景习知的溅镀机，其包括有数个腔室，各腔室间连接有一阀门，该阀门一侧设有 一控制装置，藉以控制各腔室的连通或关闭。其中该溅镀机阀门的控制装置，请参阅中国TW公开编号第200700571号的发 明专利，其系设于溅镀机个腔室阀门的一侧，包含有一连接支架，内穿设有一转轴， 转轴一端与溅镀机阀门连接，转轴上套设有磁性流体以做为阻隔气密之用。 一连接 杆，设于连接支架的一侧，并与转轴连接。 一动力源，设于连接杆的一侧，用以提 供一往复的动力，驱使连接杆转动。由于该溅镀机阀门的控制装置，需由多个零件所组合，包括有转轴、连接杆等； 然而，零件于制造时会有公差产生，导致零件装配时，就会有累积公差，因此阀门 组合后，容易因公差而造成无法密合的状态。故本实用新型人针对上述所存在的问题点，藉由多年从事相关领域的研究与制 造开发经验，经审慎评估后，终于创作出一种可改进上述缺点的溅镀机的阀门控制 装置。发明内容本实用新型目的在于，提供一种溅镀机的阀门控制装置，以克服上述传统结构 的缺陷，可让阀门更靠近抵压面，可弥补每个零件间累积公差所造成的空隙；改良 习知溅镀机阀门的控制装置容易造成无法密合的状态的缺点。解决问题的技术特点提供一种溅镀机的阀门控制装置， 一种溅镀机的阀门控 制装置，其包括一阀门本体，该阀门本体设于一溅镀机的两腔室间，该阀门本体设有一通孔， 该通孔一侧的内周缘设有抵压面；其中该阀门本体外侧设有一动力源；其特征在于一连接杆，该连接杆的两端，分别朝外延伸有偏心轴，该偏心轴的直径小于连 接杆的直径，该两端偏心轴枢设于阔门两端， 一端的偏心轴穿出通孔与用以驱动连 接杆转动的动力源相连结；其中该连接杆上固设有数挡板；一阀门，该阀门设于挡板与抵压面间，且该阀门相对于抵压面的一面周缘设有 一O型环，阀门及O型环密合压抵于抵压面上。其中，该阀门本体位于通孔的两端分别形成有内壁面，该两内壁面上部分别设 有一轴孔，而通孔两侧连通有两腔室；其中该阀门本体外侧，相对于通孔的内壁面位置设有一动力源，该动力源设有 一连通轴孔的穿孔，该穿孔设有一键槽；其中，该穿出通孔的偏心轴具有一键，该键与动力源的键槽相结合。根据上述，偏心轴与轴孔间设有轴承与防漏环。根据上述，各挡板呈等间隔的设置。根据上述，该动力源为一气压缸。对照先前技术的功效藉由连接杆两端的偏心轴，当连接杆转动时，会受偏心 轴的直径差，而使较大直径的连接杆转动时，阀门能更靠近抵压面，确实密合于抵 压面上。由于本实用新型藉由偏心轴与连接杆的直径差，可让阀门更靠近抵压面，可弥补每个零件间累积公差所造成的空隙；改良习知溅镀机阀门的控制装置容易造成无 法密合的状态的缺点。有关本实用新型所采用的技术、手段及其功效，兹举一较佳实施例并配合图式 详细说明于后，相信本实用新型上述的目的、构造及特征，当可由之得一深入而具 体的了解。
图1是本实用新型的立体外观示意图。图2是本实用新型的立体分解示意图。图3是本实用新型的连接杆与动力源连结的示意图。图4是本实用新型阀门密合的剖面示意图。图5是本实用新型连接杆与偏心杆的上视示意图。图6是本实用新型一端偏心轴的示意图。图7是本实用新型另一端偏心轴示意图。
具体实施方式
本实用新型系提供一种溅镀机的阀门控制装置，如图1至图7所示，其包括一阀门本体io，该阀门本体io锁设于一溅镀机的两腔室间，该阀门本体10设有一通孔(11)，使得该阀门本体l 0位于通孔1 l的两端分别形成有内 壁面，该两内壁面上部分别设有一轴孔l 1 1 (如图2所示)，而通孔l l两侧可连通两腔室，且该通孔l l一侧的内周缘设有抵压面l 1 2;其中该阀门本体l 0外侧，相对于通孔l l的内壁面位置设有一动力源l 2，该动力源l 2可为一气压缸，该动力源l 2设有一对齐轴孔1 1 l的穿孔l 2 1 (如图3所示)，该穿孔1 2 1设有一键槽12 2;一连接杆2 0，该连接杆2 0的两端，分别朝外延伸有偏心轴2 1、 2 2 (如 图5至图7所示)，该偏心轴2 1 、 2 2的直径小于连接杆2 0 ，且一偏心轴2 2 具有一键2 2 1 ，该偏心轴2 1、 2 2可分别枢设于两端轴孔1 1 1中，并使一端 的偏心轴2 2可穿出轴孔111，而让键2 2 1与前述动力源1 2的键槽1 2 2相 结合，而能由动力源l 2提供动力，驱使连接杆2 0转动；其中该连接杆2 0上固设有数挡板2 3，各挡板2 3呈等间隔的设置；其中偏心轴2 2与轴孔1 1 1间设有轴承2 4与防漏环2 5 (如图3所示)， 使轴孔111达到密合的状态；一阀门3 0 ，该阀门3 0设于挡板2 3与抵压面1 1 2间，且该阀门3 0相对 于抵压面l 1 2—面的周缘，设有一0型环3 1 ，使得该阀门3 0作动时，O型环 3 l确实压抵于抵压面l 1 2，达到密合的状态。藉由上述设计，当阀门需要密合时(如图4所示)，可驱动动力源l 2，使动 力源1 2作动偏心轴2 1 ，让连接杆2 0转动，并由连接杆2 0带动挡板2 3 ，使 挡板2 3推动阀门3 0朝抵压面1 1 2压合，且由0型环3 l确实达到密合。由于本实用新型的连接杆2 0两端具有偏心轴2 1、 2 2，因此当连接杆2 0 转动时，会受偏心轴2 1、 2 2的直径差，而使较大直径的连接杆2 0转动时，阀 门3 0能更靠近抵压面1 1 2，使0型环3 l确实密合于抵压面l 1 2上。另外，本实用新型藉由偏心轴2 1、 2 2与连接杆2 0的直径差，可让阀门 30更靠近抵压面1 1 2，可弥补每个零件间的配合公差及累积公差所造成的空隙。
权利要求1.一种溅镀机的阀门控制装置，其包括一阀门本体，该阀门本体设于一溅镀机的两腔室间，该阀门本体设有一通孔，该通孔一侧的内周缘设有抵压面；其中该阀门本体外侧设有一动力源；其特征在于一连接杆，该连接杆的两端，分别朝外延伸有偏心轴，该偏心轴的直径小于连接杆的直径，该两端偏心轴枢设于阀门两端，一端的偏心轴穿出通孔与用以驱动连接杆转动的动力源相连结；其中该连接杆上固设有数挡板；一阀门，该阀门设于挡板与抵压面间，且该阀门相对于抵压面的一面周缘设有一O型环，阀门及O型环密合压抵于抵压面上。
2. 如权利要求l所述的溅镀机的阀门控制装置，其特征在于，该阀门本体位 于通孔的两端分别形成有内壁面，该两内壁面上部分别设有一轴孔，而通孔两侧连 通有两腔室；其中该阀门本体外侧，相对于通孔的内壁面位置设有一动力源，该动力源设有 一连通轴孔的穿孔，该穿孔设有一键槽；其中，该穿出通孔的偏心轴具有一键，该键与动力源的键槽相结合。
3. 如权利要求2所述的溅镀机的阀门控制装置，其特征在于，偏心轴与轴孔 间设有轴承与防漏环。
4. 如权利要求l所述的溅镀机的阀门控制装置，其特征在于，各挡板呈等间 隔的设置。
5. 如权利要求l所述的溅镀机的阀门控制装置，其特征在于，该动力源为一 气压缸。
专利摘要一种溅镀机的阀门控制装置，其包括有一阀门本体、一连接杆及一阀门，阀门本体设有一通孔，该通孔一侧的内周缘设有抵压面；该连接杆的两端，分别朝外延伸有偏心轴，该偏心轴的直径小于连接杆，该两端偏心轴可枢设于通孔两端，并使一端的偏心轴可穿出通孔与动力源形成相结合，而能由动力源驱使连接杆转动；藉由连接杆两端的偏心轴，当连接杆转动时，会受偏心轴的直径差，而使较大直径的连接杆转动时，阀门能更靠近抵压面，达到确实的密合。
文档编号C23C14/54GK201102983SQ20072017593
公开日2008年8月20日 申请日期2007年9月13日 优先权日2007年9月13日
发明者刘镒诚 申请人:建铯科技股份有限公司