技术编号:3249449
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体涉及金属粉末的生产,具体而言,本发明涉及使用感应等离子体喷枪由羰基源生产金属纳米粉末的方法。背景技术随着电子设备的激增和尺寸的减少并同时提供提高的能力,伴随着对增强的集成电路、内部组件和电源供应系统的需求。所有种类的所需电子系统要求越来越精细的金属粉末用于多层陶瓷电容器(MLCC)、电池、开关、逻辑电路组件等。金属纳米粉末,尤其是超细镍粉末以多种方式生产。基于羰基技术的化学气相沉积("CVD")技术提供了特别纯的和期望的化学和物理特性。然而,由于...
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