技术编号:3249460
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及成膜方法,特别是涉及。 背景技术迄今,等离子显示面板(PDP)或液晶面板等FDP(Flat Display Panel) 中使用的透明电极使用IN-Sn-0系透明导电膜(以下称为ITO膜),但是 近年由于铟资源的枯竭导致铟的价格高涨,所以谋求替代ITO的透明导 电材料。作为替代ITO的透明导电材料,对ZnO类材料进行了研究。但是 ZnO由于电阻高,利用单纯的ZnO时难以用于电极中。已知若在ZnO中添加A1203则电阻率降^氐,例如,将在ZnO中添...
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