技术编号：3250811
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的生长厚纳米金刚石膜的方法和设备，属于超硬材料生长领域。背景技术 中国专利CN1261927提出了用双偏压热丝法生长金刚石膜。但该方法存在以下缺陷栅极上如果温度控制不当，会在其上产生附着不牢的含碳膜，这些膜的碎片可能落在热丝或衬底上，影响金刚石的生长和质量，进气装置和独立的栅极增加了设备的复杂性；另外采用该方法及设备只能生长薄的纳米金刚石膜，不能生长厚纳米金刚石膜，而厚纳米金刚石膜具有强度高、耐磨性好的显著优点。发明内容本发明提供一种生长厚纳米金刚石...
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