技术编号:3251232
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种耐腐蚀构件,该耐腐蚀构件即使在含氯气体或其等离子体中使用后仍保持表面状态不变,且更具体而言,涉及一种耐腐蚀构件,该耐腐蚀构件对于含氯气体或其等离子体具有耐腐蚀性且适用于半导体制造设备和平板显示器制造设备中。背景技术 含卤素的腐蚀性气氛普遍存在于大多数半导体制造设备,和平板显示装置的制造设备如液晶、有机电致发光和无机电致发光装置的制造设备中。设备部件由高纯材料制成以防止工件受到杂质污染以及由于颗粒原因的缺陷。对于这些部件而言,表面纯度和表面状态...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。