技术编号:3251352
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及铝基(Al-基)溅射靶。具体而言,它涉及主要包含Al的Al基溅射靶,例如Al合金或纯Al的溅射靶,并且,更具体而言,它涉及Al基溅射靶,其中,减少了在它们使用的早期阶段发生的溅射故障(飞溅和/或弓形)的周期和数量。背景技术 在制备平板显示器(FPD)中,通过采用Al基溅射靶的溅射沉积铝基薄膜例如互连膜,电极膜和反射电极膜。平板显示器包括液晶显示器(LCD)例如非晶硅TFT LCD和多晶硅TFT LCD;场致发射显示器(FED);场致发光显示器(E...
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