技术编号:32523258
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明实施例涉及砂纸更换系统。背景技术.在半导体测试过程中使用探针卡以在测试系统和半导体晶片上的电路之间提供电气路径,从而允许在晶片级上测试和验证电路。在使用探针卡的半导体测试过程中,副产物分子或颗粒可能会附着在探针卡的探针(即接触元件)上。副产物分子或颗粒的存在会导致半导体测试过程中出现错误。为了避免这种错误,定期使用砂纸片研磨探针卡的探针以移除副产物分子或颗粒。发明内容.根据本发明的一实施例,一种砂纸更换系统,包含:装载工具,用于装载板,将砂纸片固定到所述板的表面上;砂纸固定工具用于...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。