技术编号:3252988
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及的是一种高真空卷式镀膜机构,尤指一种具可量产化的卷式镀膜机构,在其具有可增加溅镀腔体结构,既有效控制被镀物的张力,并提供在真空状态下对可绕性PET、PVC、CPP基板及织品实施溅镀,得以达到最佳镀膜效果与镀膜质量的目的。背景技术真空溅镀过程是提供基板或是纺织品等基材实施真空溅镀(sputter),其是通过靶材原子变成离子后直接镀在基材上,形成膜质致密的连续膜,而传统技术上在实施溅镀时基材为呈固定材积实施镀膜作业,其镀膜方式受到设备限制,无法大...
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