专利名称：高真空卷式镀膜机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及的是一种高真空卷式镀膜机构，尤指一种具可量产化的卷式镀膜机构，在其具有可增加溅镀腔体结构，既有效控制被镀物的张力，并提供在真空状态下对可绕性PET、PVC、CPP基板及织品实施溅镀，得以达到最佳镀膜效果与镀膜质量的目的。
背景技术：
真空溅镀过程是提供基板或是纺织品等基材实施真空溅镀(sputter)，其是通过靶材原子变成离子后直接镀在基材上，形成膜质致密的连续膜，而传统技术上在实施溅镀时基材为呈固定材积实施镀膜作业，其镀膜方式受到设备限制，无法大量对基板及织品实施量产化的制造，在此设备的局限下，针对这类基板或是纺织品的溅镀实施上有其进步必要性。
本实用新型提出一种卷式镀膜机构，利用将被镀素材以卷送方式实施镀膜及完成后亦采卷收方式卷收成捆，达到一贯化作业并提升生产能力。
发明内容
本实用新型的主要目的是提供一种高真空卷式镀膜机构，通过在真空腔体中将卷式被镀素材表面实施金属镀膜，由进料、镀膜至卷收均连续作业，实现可大量生产的机构。
本实用新型的次一目的是提供一种将织品类或可绕性基板等被镀素材以卷式方式进行真空溅镀，在真空腔体上辅以角度侦测感知控制被镀素材输送与卷收时的倾斜角度、水平度以控制转速，提供被镀素材展开张力固定，使镀附物均匀镀附金属层，以提高镀膜品质。
本实用新型的另一目的是提供一种具有至少一组以上的溅镀装置，供被镀素材具有单面或是双面的镀膜层，且表面镀膜层为至少一层以上。
为实现此目的本实用新型采用的技术方案是提供一种高真空卷式镀膜机构，主要包含有两真空腔体及至少一组以上的溅镀装置所构成；其中，真空腔体是以腔室及一盖体所构成，腔室内部设置有卷布轴、传动轴、滚轴、校正滚动条及张力控制滚动条等带动及输送被镀素材的机傋构，两真空腔体内部皆设有卷布轴，该卷布轴是将被镀素材固定设置，被镀素材为成卷绕设在卷布轴，被镀素材是分别绕经传动轴、滚轴、校正滚动条、张力控制滚动条，并进入溅镀装置内进行溅镀作业，以提供被镀素材具有单面或是双面的镀膜层，经过高压放电溅镀的被镀素材再经张力控制滚动条、校正滚动条的中心校正、整平后将完成镀附薄膜的被镀素材卷收成卷。
本实用新型的优点在于，易于实现大规模生产，使镀附物均匀镀附金属层，提高镀膜品质。
以下结合附图，对本新型上述的和另外的技术特征和优点作更详细的说明。
图1为本实用新型的外观立体图；图2为本实用新型由另一角度视得的外观立体图；图3为本实用新型真空腔体内部结构立体图；图4为本实用新型另一真空腔体内部结构立体图；图5为本实用新型卷式镀膜制造流程示意图；图6为本实用新型张力调整装置示意图；图7为本实用新型张力调整装置在控制中的角度变化状态示意图；图8为本实用新型以两组以上的溅镀装置组成状态示意图。
附图符号说明1、1‘-真空腔体；11、11‘-腔室；12、12‘-盖体；2-卷布轴；21-齿轮；22-压板；3-齿轨；4-加热器；5-冷却装置；6-溅镀装置；61-溅镀腔；62-滚轴；7-张力控制装置；71-配重块；72-油压缸；8-被镀素材；10-传动轴；20-滚动条；30、40-校正滚动条；50-张力控制滚动条。
具体实施方式
请参阅图1、图2和图5所示，本实用新型的高真空卷式镀膜机构主要包含有由真空腔体1、1‘及至少一组以上的溅镀装置6所构成，其中该真空腔体1、1‘具有一腔室11、11‘及一盖体12、12‘所构成，腔室11、11‘内部设置有卷布轴2、传动轴10、滚轴20、校正滚动条30及张力控制滚动条50等带动及输送被镀素材8的机构，每一真空腔体1、1‘内部皆设有卷布轴2，该卷布轴2是将被镀素材8固定，被镀素材8为成卷绕设在卷布轴2，在卷布轴2两端设置有齿轮21，其与设在腔室11、11‘内壁上的齿轨3呈啮合对接，该齿轨3呈倾斜状设置，使卷布轴2可因应所卷绕被镀素材8的卷径大小自动调整位置，使卷布轴2得保持贴近在传动轴10，而位于齿轨3倾斜末端处设置有压板22，此压板22是作为防止被镀素材8输送至没料时的张力过大，导致将齿轮21拉离正常与齿轨3啮合位置。
当尚未完成镀膜的被镀素材8被设在真空腔体1内的卷布轴2固定后，该被镀素材8是分别绕经传动轴10、滚轴20、校正滚动条30、张力控制滚动条50，在校正滚动条30至张力控制滚动条50之间设置有可控温的加热器4，该加热器4采渐进式加热，通过以加速蒸发被镀物上的残留，而影响内部真空压力的抽气速率与溅镀质量。
在真空腔体1内的被镀素材8经过张力控制滚动条50及校正滚动条40便进入溅镀装置6内进行溅镀作业，该溅镀装置6是在2～40mtorr工作压力下通入特定气体，通过电子与气体碰撞产生正离子，在电场的作用下高速轰击阴极靶，使原子分子或原子溅出而镀附在被镀素材8表面形成致密镀膜。而溅镀装置6是可提供被镀素材8具有单面或是双面的镀膜层，且表面镀膜层可以为至少一层以上的多层镀膜层，该溅镀装置6可依照图8所示以一组以上的溅镀装置6构成，以模块化方式提供被镀素材8表面具有至少一层以上的镀膜层。而在经过高压放电镀附有薄膜的被镀素材8在卷收之前，必须经由冷却装置5以摄氏-10℃～22℃加以冷却，以利后续的卷收作业。
关在被镀素材8在卷送中张力的控制结构请参阅图2至图6所示，位在两真空腔体1、1‘内部设有卷布轴2，当卷绕被镀素材8直径越大时，该卷布轴2设置位置为沿着齿轨3而移动，因此在真空腔体1内卷布轴2所卷绕的被镀素材8是未镀附有任何薄膜，故当被镀素材8持续被输送溅镀作业时，卷布轴2则逐渐朝齿轨3倾斜末端移动；而位在真空腔体1‘内的卷布轴2则持续卷绕有镀附薄膜的被镀素材8，由在卷布轴2卷绕直径增大，该卷布轴2朝齿轨3倾斜顶端方向移动。
在真空腔体1、1‘及溅镀腔61内数个传动被镀素材8的轴体，其中校正滚动条30、40是可为一般轴径或为异径轴，通过校正滚动条30、40在输送被镀素材8时，得左右倾斜达到中心校正被镀素材8。
另外，如图5至图8，被镀素材8的张力调整控制是利用设在两腔室11、11‘内的张力控制滚动条50，并搭配张力控制装置7达到使被镀素材8基材张力固定，其中张力控制滚动条50以摇摆方式经由角度感知器作讯号回馈，以控制放料轴心卷布轴2的转速；而控制张力控制滚动条50的张力控制装置7以油压缸72及配重块71实施张力控制滚动条50位置的调整，以保持被镀素材8在稳定转速下达到固定张力的输送模式，进而使得在溅镀装置6中的镀膜效果稳定且质量好。
以上说明对本新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离以下所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，可做出许多修改，变化，或等效。
权利要求1.一种高真空卷式镀膜机构，其特征在于，该机构是由两真空腔体及至少一组以上的溅镀装置所组成；其中，真空腔体是由腔室及一盖体所构成，设置有用于固定被镀素材的卷布轴，用来传导绕性素材运动的传动轴和滚轴，以及校正滚动条，张力滚动条；两真空腔体之间设置进行溅镀作业的溅镀装置。
2.根据权利要求1所述的高真空卷式镀膜机构，其特征在于，所述卷布轴两端设置有齿轮，其与设在腔室内壁上的齿轨呈啮合对接，所述卷布轴因应所卷绕被镀素材的卷径大小而在齿轨上调整移动设置位置。
3.根据权利要求1所述的高真空卷式镀膜机构，其特征在于，所述校正滚动条至张力控制滚动条之间设置有加热器。
4.根据权利要求1所述的高真空卷式镀膜机构，其特征在于，在所述的的溅镀装置与用于卷收的真空腔之间设有冷却装置。
5.根据权利要求1所述的高真空卷式镀膜机构，其特征在于，所述溅镀装置是以一组以上的，利用模块化方式提供被镀素材表面具有至少一层以上的镀膜层的溅镀装置构成。
专利摘要一种高真空卷式镀膜机构，主要包含有两真空腔体及至少一组以上的溅镀装置所构成，其中真空腔体是以腔室及一盖体所构成，腔室内部设置有卷布轴、传动轴、滚轴、校正滚动条及张力控制滚动条等带动及输送被镀素材的机傋，两真空腔体内部皆设有卷布轴，该卷布轴是将被镀素材固定设置，被镀素材为成卷绕设在卷布轴，被镀素材是分别绕经传动轴、滚轴、校正滚动条、张力控制滚动条，并进入溅镀装置内进行溅镀作业，以提供被镀素材具有单面或是双面的镀膜层，经过高压放电溅镀的被镀素材再经张力控制滚动条、校正滚动条的中心校正、整平后将完成镀附薄膜的被镀素材卷收成卷。
文档编号C23C14/34GK2921038SQ200620019050
公开日2007年7月11日 申请日期2006年3月31日 优先权日2006年3月31日
发明者杨成杰, 林志煌 申请人:英志企业股份有限公司