技术编号:3256185
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空镀膜领域,尤其是ITO玻璃真空镀膜行业中基片架的传动定位结构,具体地说是一种基片架磁定位系统。背景技术目前,传统的基片架是以齿条传动为主,如图I所示,基片架顶部悬空,基片架装载玻璃在真空室里运行时,由于顶部无定位以及受炉体温度的影响,在运行过程中出现摇晃及刮擦,造成玻璃基片的破损及掉落,使得整个系统不能正常运行,必须停机处理,对产品的品质及系统的稳定性带来诸多的影响。发明内容本发明的目的是针对真空镀膜中,传统的基片架采用齿条传动所存在的问题,...
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