专利名称：基片架磁定位系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及真空镀膜领域，尤其是ITO玻璃真空镀膜行业中基片架的传动定位结构，具体地说是一种基片架磁定位系统。
背景技术：
目前，传统的基片架是以齿条传动为主，如图I所示，基片架顶部悬空，基片架装载玻璃在真空室里运行时，由于顶部无定位以及受炉体温度的影响，在运行过程中出现摇晃及刮擦，造成玻璃基片的破损及掉落，使得整个系统不能正常运行，必须停机处理，对产品的品质及系统的稳定性带来诸多的影响。
发明内容
本发明的目的是针对真空镀膜中，传统的基片架采用齿条传动所存在的问题，提出一种基片架磁定位系统。该系统是利用磁铁异性相吸的原理，通过上下磁场的相互作用使得基片架能按其规定的轨迹运行。本发明的技术方案是
一种基片架磁定位系统，它包括真空箱体以及位于箱体内部的传动机构、磁悬浮定位机构、中心加热器、两溅射靶和多组基片架，所述的中心加热器安装在真空箱体的中部，两溅射靶分别安装在真空箱体的两侧壁上，中心加热器与两溅射靶之间的传动轨迹上安装多组基片架，各组基片架的底部安装在传动机构上，各组基片架的顶部安装磁悬浮定位机构， 所述的磁悬浮定位机构包括成对设置的多组磁铁，按照基片架的运行轨迹在真空箱体的顶部按同一极性排布多个磁铁，在对应基片架的顶部按照与前述磁铁极性相反的排布多个磁铁。本发明的多组基片架均为不锈钢支架。本发明的传动机构包括多组U型摩擦传动轮，各组U型摩擦传动轮上分别夹装两基片架。本发明的磁悬浮定位机构包括成对设置的多组磁铁，安装在基片架上的磁铁与安装在真空箱体的顶部的磁铁的间隙是3-7mm。本发明的安装在基片架上的磁铁与安装在真空箱体的顶部的磁铁均采用 50X20X10的矩形磁铁串联组合成长条形磁铁。本发明的安装在真空箱体的顶部的磁铁是按朝上S朝下N，安装在基片架上的磁铁是朝上S朝下N排列。本发明的有益效果
本发明由于通过磁场的相互吸引达到定位的目的，基片架在运行过程中与定位系统无机械接触，无摩擦，不产生污染，使用寿命长，不需要过多维护，通过该系统的安装，基片架运行稳定性得以提闻，不再有碎片掉片现象，对广品的广质量都有大幅度提闻。
图I是本发明的传统的基片架定位及传动结构的示意图。图2是本发明的结构示意图。图中I、真空箱体；2、U型摩擦传动轮；3、磁悬浮定位机构；
4、中心加热器；5、溅射靶；6、基片架；7、齿条传动机构。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。如图I所示，一种基片架磁定位系统，它包括真空箱体I以及位于箱体内部的传动机构、磁悬浮定位机构3、中心加热器4、两溅射靶5和多组基片架6，所述的中心加热器4安装在真空箱体I的中部，两溅射靶5分别安装在真空箱体I的两侧壁上，中心加热器4与两溅射靶5之间的传动轨迹上安装多组基片架6，各组基片架6的底部安装在传动机构上，各组基片架6的顶部安装磁悬浮定位机构3，所述的磁悬浮定位机构3包括成对设置的多组磁铁，按照基片架6的运行轨迹在真空箱体I的顶部按同一极性排布多个磁铁，在对应基片架 6的顶部按照与前述磁铁极性相反的排布多个磁铁。所述的安装在基片架6上的磁铁与安装在真空箱体I的顶部的磁铁均采用50X20X10的矩形磁铁串联组合成长条形磁铁。如图I所示，安装在真空箱体I的顶部的磁铁是按朝上S朝下N，安装在基片架6上的磁铁是朝上S朝下N排列，安装在基片架6上的磁铁与安装在真空箱体I的顶部的磁铁的间隙是 3-7mm。本发明的多组基片架6均为不锈钢支架。 本发明的传动机构包括多组U型摩擦传动轮2，各组U型摩擦传动轮2上分别夹装两基片架6。该系统是利用磁铁异性相吸的原理，通过上下磁场的相互作用使得基片架能按其规定的轨迹运行。上部磁铁按同一极性排列在不锈钢支架内，并按照基片架运行轨迹固定在真空室顶部，底部磁铁按相反极性排布在不锈钢支架内，用耐高温陶瓷作为支撑座固定在基片架顶部，定位系统选用耐高温磁材钕铁硼N35AH，上下磁铁间隙调整在5mm±2的范围内。本发明未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
权利要求
1.一种基片架磁定位系统，其特征是它包括真空箱体(I)以及位于箱体内部的传动机构、磁悬浮定位机构(3)、中心加热器(4)、两溅射靶(5)和多组基片架(6)，所述的中心加热器(4)安装在真空箱体(I)的中部，两溅射靶(5)分别安装在真空箱体(I)的两侧壁上，中心加热器(4)与两溅射靶(5)之间的传动轨迹上安装多组基片架(6)，各组基片架(6)的底部安装在传动机构上，各组基片架(6)的顶部安装磁悬浮定位机构(3)，所述的磁悬浮定位机构(3)包括成对设置的多组磁铁，按照基片架(6)的运行轨迹在真空箱体(I)的顶部按同一极性排布多个磁铁，在对应基片架(6)的顶部按照与前述磁铁极性相反的排布多个磁铁。
2.根据权利要求I所述的基片架磁定位系统，其特征是所述的多组基片架(6)均为不锈钢支架。
3.根据权利要求I所述的基片架磁定位系统，其特征是所述的传动机构包括多组U型摩擦传动轮(2)，各组U型摩擦传动轮(2)上分别夹装两基片架(6)。
4.根据权利要求I所述的基片架磁定位系统，其特征是所述的磁悬浮定位机构(3)包括成对设置的多组磁铁，安装在基片架(6)上的磁铁与安装在真空箱体(I)的顶部的磁铁的间隙是3-7mm。
5.根据权利要求I所述的基片架磁定位系统，其特征是所述的安装在基片架(6)上的磁铁与安装在真空箱体(I)的顶部的磁铁均采用50X20X10的矩形磁铁串联组合成长条形磁铁。
6.根据权利要求I所述的基片架磁定位系统，其特征是所述的安装在真空箱体(I)的顶部的磁铁是按朝上S朝下N，安装在基片架(6)上的磁铁是朝上S朝下N排列。
全文摘要
一种基片架磁定位系统，它包括真空箱体以及位于箱体内部的传动机构、磁悬浮定位机构、中心加热器、两溅射靶和多组基片架，的中心加热器安装在真空箱体的中部，中心加热器与两溅射靶之间的传动轨迹上安装多组基片架，各组基片架的底部安装在传动机构上，各组基片架的顶部安装磁悬浮定位机构。本发明由于通过磁场的相互吸引达到定位的目的，基片架在运行过程中与定位系统无机械接触，无摩擦，不产生污染，使用寿命长，不需要过多维护，通过该系统的安装，基片架运行稳定性得以提高，不再有碎片掉片现象，对产品的产质量都有大幅度提高。
文档编号C23C14/34GK102586751SQ20121006735
公开日2012年7月18日 申请日期2012年3月14日 优先权日2012年3月14日
发明者曹俊, 朱殿荣 申请人:无锡康力电子有限公司