技术编号：3257112
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光伏设备领域，进一步地，涉及PECVD(等离子增强的化学气相沉积)设备的炉门系统中一种安全而且有效的炉门机构。背景技术在现代光伏生产工艺中，PECVD (等离子增强的化学气相沉积)设备作为单晶硅和多晶硅电池片生产工艺的关键设备之一，其使用效率和稳定性关系到整条生产线的效率。在竞争日趋激烈的今天，显得尤为重要。如何使得设备稳定好用，作为PECVD设备中的一个 部件，炉门机构的稳定性对整个设备的稳定起到很大影响。管式PECVD设备使用石英管作为沉...
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