技术编号：3258367
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超导薄膜材料制备技术范围，特别涉及一种用无机盐原料液相化学法制备双轴织构CeO2薄膜工艺。背景技术 氧化铈(CeO2)是一种应用前景广阔的多功能材料，已被用于光学、化学催化、化工颜料、高温超导、化学传感器、燃料电池等众多领域。对于一般应用领域来说，CeO2薄膜只需要具有一定的厚度、较好的均匀性、致密性和表面平整度即可，这些应用对CeO2薄膜的取向没有特殊要求。但在超导材料研究的热点-YBCO涂层导体的制备过程中，一般需要CeO2薄膜既具有良好的表...
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