快速液相沉积膜的系统和方法技术资料下载

技术编号:3259523

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本发明涉及在多种衬底上的膜或涂层的快速液相沉积。背景技术众所周知,业内存在多种用于在衬底上生长无机材料的方法。例如,诸如化学气相沉积(CVD)、溶胶凝胶和液相沉积(LPD)的生长方法可用于在衬底上生长无机材料。例如,2010年5月18日授予Barron等人的美国专利7,718,550论述了无机材料的低温生长。太阳能电池可设置有若干层无机材料,例如光吸收层、电极层、光响应层和抗反射层。包括但不限于Si02、Ti02、Zr02、ln203、Sn02、BaTi0...
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