技术编号:3261356
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及溅射等物理蒸镀技术中使用的。背景技术近年来,在作为平面显示装置之一的薄膜晶体管型液晶显示器等的薄膜电极和薄膜布线等中,渐趋使用低电阻的Al、Cu、Ag、Au等纯金属膜或者以它们为主体的合金膜。然而,通常这些薄膜存在作为电极·布线所要求的耐热性、耐腐蚀性、密合性中任意一种特性差的问题,与其它元素形成扩散层而丧失必要的电特性等问题。因此,为了解决这些问题,作为对于基板的基底膜或覆盖膜,开始使用作为高熔点 金属的纯Mo、Mo合金。尤其是提出了 MoTi...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。