技术编号：3262062
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于蚀刻含有铜层和/或铜合金层的金属膜、特别是铜层和/或铜合金层/钥层压膜的蚀刻用组合物。本发明尤其涉及可以用于形成布线、电路、电极、连接部等微细结构的，典型地用于制作液晶显示器的门电路、源极及漏极电极等的金属层压膜用蚀刻液组合物。背景技术以往，液晶显示器的门电路、源极及漏极电极材料等，从便宜且电阻小的角度出发，使用铝或铝合金，但在实用上，因与作为基础的玻璃基板之间的贴附性比较低，所以在下部使用钥等金属或其合金的膜形成铝/异种金属层压膜而使用。另...
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