技术编号：32633401
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种真空镀膜机用的工件上料机构。背景技术.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中,在工件镀膜过程中，需要通过上料设备，对工件进行运输，保证工件能够有效进入真空镀膜机内。.在现有技术中，对于部分横截面为圆环形的筒状工件，在上料时通常将工件置于输送带表面...
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