技术编号:3263518
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将工件粘附于板的方法,其中工件将安置于抛光装置并通过抛光装置进行抛光,本发明还涉及用于实施该方法的工件粘附装置。背景技术在对例如硅晶片等工件的一面进行抛光的情况下,预定数量的工件被粘附于板,在工件的待抛光表面面对抛光板的抛光布的状态下将板安置于抛光装置,并且抛光板在供应浆料的同时转动以使工件的表面被抛光。在日本特开平5-82493号公报中公开了用于将多个工件粘附于板的传统技术。在该技术中,包括加热器的加热台被预先加热到预定温度,然后将板放置于加热...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。