技术编号：3267738
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于MO源灌装容器的处理装置。背景技术MO源即高纯金属有机化合物,是先进的金属有机化学气相沉积(简称M0CVD)、金属有机分子束外延(简称M0MBE)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料。由于MO源产品要求纯度极高，而绝大多数MO源化合物对氧气、水汽极其敏感，遇空气可发生自燃，遇水可发生爆炸，且毒性大，所以MO源的研制是集极端条件下的合成制备、超纯纯化、超纯分析、超纯灌装等于一体的闻新技术。MO源需要储存在一个对洁净度、密封性具有较高要求...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。