专利名称：一种用于mo源灌装容器的处理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于MO源灌装容器的处理装置。
背景技术：
MO源即高纯金属有机化合物,是先进的金属有机化学气相沉积(简称M0CVD)、金属有机分子束外延(简称M0MBE)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料。由于MO源产品要求纯度极高，而绝大多数MO源化合物对氧气、水汽极其敏感，遇空气可发生自燃，遇水可发生爆炸，且毒性大，所以MO源的研制是集极端条件下的合成制备、超纯纯化、超纯分析、超纯灌装等于一体的闻新技术。MO源需要储存在一个对洁净度、密封性具有较高要求的惰性气体保护的容器罐(即MO源灌装容器)中。而MO源灌装容器本身需要进行清洗、烘干、以及惰性气体保护。 然而，现有技术中还没有专门用于MO源灌装容器的处理装置，一般是一项一项分开进行处理，其操作过程较长，且过程中容易受到污染。因此，开发一种专用于MO源灌装容器的处理装置，以一体化完成清洗、加热、换气、检漏、环境分析操作等，具有积极的现实意义。
发明内容本实用新型的发明目的是提供一种用于MO源灌装容器的处理装置，以一体化完成清洗、加热、换气、检漏、环境分析操作等。为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是一种用于MO源灌装容器的处理装置，包括容器处理平台、清洗系统和干燥系统；所述容器处理平台上设有至少I对与MO源灌装容器配合的连接头，各对连接头之间连接有MO源灌装容器，各对连接头的另一端通过转换器分别与所述清洗系统和干燥系统连通，分别构成第一连通的密闭系统和第二连通的密闭系统；所述清洗系统包括水泵、水源接收罐、清洗水源；所述水泵和水源接收罐连通，水源接收罐通过第一清洗管路与所述各对连接头中的一个连通，各对连接头中的另一个通过第二清洗管路与清洗水源连通，构成所述第一连通的密闭系统；所述第一清洗管路和第二清洗管路上均设有阀门；所述干燥系统包括真空泵、干燥缓冲装置、检测器、检漏仪、气源；所述真空泵和干燥缓冲装置连通，干燥缓冲装置通过第一干燥管路与所述各对连接头中的一个连通，各对连接头中的另一个通过第二干燥管路与气源连通，构成所述第二连通的密闭系统；所述第二干燥管路上设有阀门，阀门上设有所述检漏仪。上文中，所述容器处理平台上设有至少I对与MO源灌装容器配合的连接头，连接头的作用是将MO源灌装容器与清洗系统、干燥系统连接，形成连通的密闭系统；例如1对连接头包括2个连接头，2个连接头之间连接待处理的MO源灌装容器，连接头的另一端与清洗系统、干燥系统连接。所述各对连接头之间连接有MO源灌装容器，优选的，各对连接头之间串联多个MO源灌装容器，以提高处理效率。所述第一连通的密闭系统和第二连通的密闭系统可以通过转换器进行切换，即当第一连通的密闭系统工作时，第二连通的密闭系统关闭，反之亦然。上述技术方案中，所述MO源灌装容器通过管路与各对连接头连接，且管路上设有阀门。上述技术方案中，所述转换器为三通阀。上述技术方案中，所述水泵和水源接收罐之间设有阀门。上述技术方案中，所述真空泵和干燥缓冲装置之间设有阀门。由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点 I.本实用新型设计得到了一种专用于MO源灌装容器的处理装置，可以将清洗、干燥、净化、检漏、环境分析操作一体化完成，从而不仅大大减少了操作过程中的污染几率，提高了高纯MO源储存环境，而且缩减了清洗时间、抽烘和气体置换时间，大大提高了处理效率，取得了良好的效果。2.本实用新型中使用的连接头和管路均可以根据实际情况进行调整，因而具有良好的适用性，同时其结构简单，易于操作，适于推广应用。
图I是本实用新型实施例一的结构示意图。其中1、真空泵；2、干燥缓冲装置；3、检测器；4、检漏仪；5、气源；61、第一清洗管路；62、第二清洗管路；7、水泵；8、水源接收罐；9、容器处理平台；10、MO源灌装容器；11、清洗水源；121、第一干燥管路；122、第二干燥管路。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述实施例一参见图I所示，一种用于MO源灌装容器的处理装置，包括容器处理平台9、清洗系统和干燥系统；所述容器处理平台上设有至少I对与MO源灌装容器配合的连接头，各对连接头之间连接有MO源灌装容器10，各对连接头的另一端通过三通阀分别与所述清洗系统和干燥系统连通，分别构成第一连通的密闭系统和第二连通的密闭系统；所述清洗系统包括水泵7、水源接收罐8、清洗水源11 ;所述水泵和水源接收罐连通，水源接收罐通过第一清洗管路61与所述各对连接头中的一个连通，各对连接头中的另一个通过第二清洗管路62与清洗水源连通，构成所述第一连通的密闭系统；所述第一清洗管路和第二清洗管路上均设有阀门；所述干燥系统包括真空泵I、干燥缓冲装置2、检测器3、检漏仪4、气源5 ;所述真空泵和干燥缓冲装置连通，干燥缓冲装置通过第一干燥管路121与所述各对连接头中的一个连通，各对连接头中的另一个通过第二干燥管路122与气源连通，构成所述第二连通的S闭系统；所述第二干燥管路上设有阀门，阀门上设有所述检漏仪。[0031 ] 水源接收罐8与水泵7之间设有阀门；所述真空泵和干燥缓冲装置之间设有阀门。本实用新型的工作过程为将MO源灌装容器10安装于容器处理平台9上之后，先进行清洗，在水泵7的作用力下，清洗水源11通过清洗管路流经MO源灌装容器，然后流入水源接收罐8，在清洗的过程中MO源灌装容器始终处于超声振荡状态；待一定时间后取水源接收罐中的溶液经行ICP测试，达到超高洁净标准及说明清洗完毕；待清洗完毕后，关闭相关清洗系统的阀门，同时打开相关干燥系统 的阀门，使得MO源灌装容器10在容器处理平台9上与干燥系统形成一个密闭体系，通过检漏仪4确定后，容器处理平台开始加热，使得整个MO源灌装容器处于一定温度条件下(如7(T8(TC )，然后打开真空泵I抽真空，抽至真空度为-0. IMPa，保持一定时间通入高纯洁净氮气，重复抽充，直至检测器3检测符合超高洁净标准，然后取下MO源灌装容器，待用。
权利要求1.一种用于MO源灌装容器的处理装置，其特征在于包括容器处理平台(9)、清洗系统和干燥系统； 所述容器处理平台上设有至少I对与MO源灌装容器配合的连接头，各对连接头之间连接有MO源灌装容器(10)，各对连接头的另一端通过转换器分别与所述清洗系统和干燥系统连通，分别构成第一连通的密闭系统和第二连通的密闭系统； 所述清洗系统包括水泵(7)、水源接收罐(8)、清洗水源(11);所述水泵和水源接收罐连通，水源接收罐通过第一清洗管路￠1)与所述各对连接头中的一个连通，各对连接头中的另一个通过第二清洗管路￠2)与清洗水源连通，构成所述第一连通的密闭系统； 所述第一清洗管路和第二清洗管路上均设有阀门； 所述干燥系统包括真空泵(I)、干燥缓冲装置(2)、检测器(3)、检漏仪(4)、气源(5)；所述真空泵和干燥缓冲装置连通，干燥缓冲装置通过第一干燥管路(121)与所述各对连接头中的一个连通，各对连接头中的另一个通过第二干燥管路(122)与气源连通，构成所述第二连通的密闭系统； 所述第二干燥管路上设有阀门，阀门上设有所述检漏仪。
2.根据权利要求I所述的用于MO源灌装容器的处理装置，其特征在于所述MO源灌装容器通过管路与各对连接头连接，且管路上设有阀门。
3.根据权利要求I所述的用于MO源灌装容器的处理装置，其特征在于所述转换器为三通阀。
4.根据权利要求I所述的用于MO源灌装容器的处理装置，其特征在于所述水泵(7)和水源接收罐(8)之间设有阀门。
5.根据权利要求I所述的用于MO源灌装容器的处理装置，其特征在于所述真空泵和干燥缓冲装置之间设有阀门。
专利摘要本实用新型公开了一种用于MO源灌装容器的处理装置，包括容器处理平台、清洗系统和干燥系统；所述容器处理平台上设有至少1对与MO源灌装容器配合的连接头，各对连接头之间连接有MO源灌装容器，各对连接头的另一端通过转换器分别与所述清洗系统和干燥系统连通，分别构成第一连通的密闭系统和第二连通的密闭系统。本实用新型的处理装置可以将清洗、加热、换气、检漏、环境分析操作一体化完成，从而不仅大大减少了操作过程中的污染几率，提高了高纯MO源储存环境，而且缩减了清洗时间、抽烘和气体置换时间，大大提高了处理效率，取得了良好的效果。
文档编号C23C16/44GK202543321SQ20122016966
公开日2012年11月21日 申请日期2012年4月19日 优先权日2012年4月19日
发明者李敏, 洪海燕, 王士峰, 茅嘉原 申请人:苏州普耀光电材料有限公司