专利名称：一种在cvd设备中检测基板破片的装置的制作方法
技术领域：
—种在CVD设备中检测基板破片的装置
技术领域：
本实用新型涉及ー种在CVD设备中检测基板破片的装置。
背景技木在基板进入CVD (Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)设备之前,设备只能判断基板是否有破碎，但是不能判断基板上位于边角处的破损和基板上的裂纹；出现裂纹和破角的玻璃基板会在设备内破裂，损坏设备，影响生产。
实用新型内容本实用新型的目的是提供ー种在CVD设备中检测基板破片的装置，以解决上述技术问题。为达到以上目的，本实用新型采用如下技术方案ー种在CVD设备中检测基板破片的装置，包括装载腔室，装载腔室的入口的上方设有CXD镜头装置。本实用新型进ー步的改进在于所述若干CXD镜头装置排列成ー排。本实用新型进ー步的改进在于所述CXD镜头装置设置于入口上方10cm。本实用新型进ー步的改进在于入口下方设置有LED光源。本实用新型进ー步的改进在于所述CXD镜头装置还连接有显示装置。与现有技术相比，本实用新型具有以下优点本实用新型ー种在CVD设备中检测基板破片的装置，通过在装载腔室的入ロ的上方设有CCD镜头装置，通过CCD镜头装置实时拍摄通过装载腔室入口的基板，从CCD镜头装置实时拍摄的图片可以直观的判断基板上是否有裂纹和破损；避免破损的基板进入CVD设备，损坏设备，影响生产。
图I为实用新型ー种在CVD设备中检测基板破片的装置的结构示意图；图2为图I的侧面图；其中1为CVD设备的装载腔室；2为装载腔室的入口 ；3为C⑶镜头装置；4为LED光源。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进ー步详细描述。请參阅图I及图2所示，本实用新型ー种在CVD设备中检测基板破片的装置，包括CVD设备的装载腔室1，CVD设备的装载腔室I的装载腔室的入ロ 2上方IOcm处装ー排CXD镜头装置3;入口 2下设置有LED光源4。C⑶镜头装置3设置于基板短边处。当基板经过入ロ 2进入装卸腔室I吋，LED光源4发光照射基板便于CXD镜头装置3拍摄，CXD镜头装置3会将整个基板拍摄下图片，通过显示装置实时显示CCD镜头装置3拍摄下的图片，根据拍摄的图片判断基板上是否有裂纹和破损；如果图片上发现基板有破损或裂纹，立即发生报警，停止生产。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技 术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.ー种在CVD设备中检测基板破片的装置，其特征在于，包括装载腔室(I)，装载腔室(1)的入口(2)的上方设有若干CCD镜头装置(3)。
2.根据权利要求I所述的ー种在CVD设备中检测基板破片的装置，其特征在于，所述若干(XD镜头装置(3)排列成ー排。
3.根据权利要求I所述的ー种在CVD设备中检测基板破片的装置，其特征在于，所述C⑶镜头装置(3)设置于入口⑵上方10cm。
4.根据权利要求I所述的ー种在CVD设备中检测基板破片的装置，其特征在于，入口(2)下方设置有LED光源⑷。
5.根据权利要求I所述的ー种在CVD设备中检测基板破片的装置，其特征在于，所述C⑶镜头装置(3)还连接有显示装置。
专利摘要本实用新型公开了一种在CVD设备中检测基板破片的装置，包括装载腔室，装载腔室的入口的上方设有CCD镜头装置。本实用新型一种在CVD设备中检测基板破片的装置，通过在装载腔室的入口的上方设有CCD镜头装置，通过CCD镜头装置实时拍摄通过装载腔室入口的基板，从CCD镜头装置实时拍摄的图片可以直观的判断基板上是否有裂纹和破损；避免破损的基板进入CVD设备，损坏设备，影响生产。
文档编号C23C16/44GK202658227SQ20122016928
公开日2013年1月9日 申请日期2012年4月19日 优先权日2012年4月19日
发明者张明 申请人:彩虹(佛山)平板显示有限公司