破片分析装置的制作方法

文档序号:2809858阅读:232来源:国知局
专利名称:破片分析装置的制作方法
技术领域
本发明涉及玻璃基板破片的分析装置,尤其涉及一种可以快速回收破片的 破片分析装置。
背景技术
在玻璃基板的制造过程中,工艺产生不良应力或材料缺陷,玻璃基板可能 产生破裂的情形。玻璃基板于机台破裂形成的破片,加以收集后拼图,拼接的 裂痕可用于分析玻璃基板破裂原因,以判断基板工艺或是材料需要修改。
目前进行破片分析的方法,为先收集玻璃基板破裂之后的破片,并搬运至 一空旷处。再将破裂的基板拼接成完整的基板,以检视玻璃基板的破裂情形。 破片分析完成之后,再一一将破片丢弃至一报废盒内。破片搬运时,需由人员 手动搬运,易造成碎片散落而造成污染,也容易造成破片报废时人力的浪费。
因此,如何分析破片,并于分析完成后安全地收集并废弃破片,为此领域 所需迫切面临的课题。

发明内容
有鉴于此,本发明所要解决的技术问题在于提出一种破片分析装置,可于 分析破片之后安全且快速地收集破片。
为了实现上述目的,本发明提供一种破片分析装置,包含一基座、 一分析 台、及至少一导引装置。基座内部具有一容置空间,且基座的顶部具有一开口 连通容置空间。分析台设置于基座上,具有平台部且平台部用以承载破片。导 引装置连接基座与分析台,其中导引装置具有第一导引方向及第二导引方向, 且导引装置导引分析台沿第一导引方向或沿第二导引方向位移,使分析台位于 容置空间内或者位于开口上方。
本发明通过具有平台部的分析台承载破片,且可于破片分析完成之后,通 过导引装置导引分析台移动以收集至容置空间内,避免破片污染环境。同时,说明书第2/5页
导引装置连接分析台及基座,且分析台也可以进一步移动至容置空间中,避免 分析台自基座脱落,也确保容置空间在移动过程中被分析台密封,降低因基座 倾倒导致破片散落的危机。
有关本发明的较佳实施例及其功效,兹配合


如后。

图1A、 1B、 、 1C、与图1D为本发明第一实施例的立体图; 图2为图1C的局部放大图3A、 3B、 3C、与图3D为本发明第一实施例的剖面示意图; 图4A、 4B、 4C、与图4D为本发明第二实施例的立体图; 图5为本发明第三实施例的剖面示意图; 图6为本发明第四实施例的剖面示意图。 其中,附图标记
10:基座12:容置空间
14:开口16:窗口
20:分析台22:平台部
221.坐标网格线24:盖板部
26:侧板部261r定位标记
28:扣锁件30:导引装置
32:第一导轨34:第二导轨
36:枢接元件361:连接件
363枢轴40:第一轮组件
50:收集箱52:收集口
54:第二轮组件60:门组件
70:连杆组72:第一连杆
73:第二连杆74:伸缩杆
具体实施例方式
请参照图1A、图1B、图1C、及图1D,为本发明第一实施例所揭露的一种 破片分析装置,破片分析装置包含一基座10、 一分析台20、及二导引装置30。
破片分析装置用以分析破裂基板的破片,并于分析完成后快速搜集破片以废 弃,前述的破裂基板可为玻璃基板、面板或晶圆等。
请继续参阅图1A、图1B、图1C、及图1D,基座10内部具有一容置空间 12,且基座10的顶部具有一开口 14,其连通容置空间12。分析台20可移动 地设置于基座10之上,分析台20具有一平台部22、 一盖板部24、及二侧板 部26。平台部22用以承载破片且具有多数个坐标网格线221,绘制于平台部 22的表面。当基板的破片排列在平台部22时,工程师能直接得知裂痕于基板 上的相对位置,借以分析破裂发生原因。盖板部24设置于平台部22的侧边缘, 而侧板部26设置于平台部22其余的侧边缘。其中,于各侧板部26具有多数 个定位标记261,绘制于各侧板部26靠近平台部22的一表面,用以辅助坐标 网格线221,或单独用于破裂位置分析。此外,基座10的底部设置第一轮组 件40,用以使基座10容易移动。
结合参照图2、图3A、图3B、图3C及图3D,导引装置30用以连接基座 10与分析台20。导引装置30具有一第一导引方向Gl及一第二导引G2方向, 且导引装置30较佳包含一第一导轨32、 一第二导轨34及一枢接元件36。第 一导轨32设置于基座10,且沿第一导引方向G1延伸。第二导轨34设置于分 析台20的侧板部26外侧。枢接元件36较佳包含一连接件361及二枢轴363, 其中枢轴363分设于连接件361的二端,且枢轴363其中之一枢接于第一导轨 32,另一枢轴363枢接于第二导轨34,借以导引分析台20沿第-一导引方向Gl 及第二导引方向G2位移。
分析台20可通过枢轴363相对于基座10旋转,改变分析台20相对于基 座10的倾角,使分析台20垂直地移动进入容置空间12中并以盖板部24覆盖 开口 14,或水平地置于开口 14上方而以平台部22覆盖开口 14。
请继续参阅图1A、图1B、图1C、图3A、图3B、图3C、及图3D,当基板 于机台上发生破片时,使用者可将基座10通过第一轮组件40推往机台边,并 沿第一导引方向Gl由容置空间12中取出分析台20,并设置分析台20于开口 14上方。将破片收集排列至平台部22上,使用者可通过平台部22上的坐标 网格线221及侧板部26边的定位标记261,分析破片破裂方式,以进行后续 改进以及分析。当分析完破片之后,将分析台20沿第二导引方向G2移动并相 对于基座IO转动,令位于平台部22上的破片由开口 14滑入容置空间12内,
并收集在容置空间12,避免破片散落于无尘室内,而造成污染。
参阅图4A、图4B、图4C、及图4D所示,为本发明第二实施例所揭露的 一种破片分析装置,于此,破片分析装置由两个分析台20组合而成,且可移 动地设置于基座10之上,各分析台20具有一平台部22、 一盖板部24、及二 侧板部26。盖板部24设置于平台部22的一侧边缘,而二侧板部26相对地设 置于平台部22其余的侧边缘。
破片分析装置更包含一可移动的收集箱50,设置于容置空间12内,且收 集箱50具有面对开口 14的一收集口 52。收集箱50的底部设置一第二轮组件 54,用以使收集箱50容易移动。基座10的一侧面具有一窗口 16,用以供收 集箱50通过。而在窗口 16的边缘枢接一门组件60,用以开启或关闭窗口 16。
当分析破片时,二分析台20沿第一导引方向由容置空间12中取出,并可 于开口 14上方合并在一起,使二分析台20的平台部22位于同一水平面上并 结合为单一平台。二平台部22之间,可被一扣锁件28扣合,以使平台部22 不会互相分离。破片为收集排列至二平台部22上,使用者可通过平台部22 上的坐标网格线221及侧板部26边的定位标记261,分析破片破裂方式,以 进行后续改进以及分析。当分析完破片之后,将分析台20沿第二导引方向向 两侧拉开,位于平台部22上的破片由开口 14滑入容置空间12内。将分析完 毕的破片收集在容置空间12内的收集箱50中,避免碎片散落于无尘室内,而 造成污染。并且在清运时,更可以方便移动及清除破片。二分析台20也可收 纳至容置空间12,并以盖板部24封闭基座10的开口 14。
请参照图5,为本发明第三实施例所揭露的一种破片分析装置。于本实施 例中,导引装置30为一连杆组70,其中,连杆组70的一端连接于基座K), 另一端连接于分析台20,使分析台20沿第一导引方向或第二导引方向位移而 位于容置空间12内或者位于开口 14上方。
上述说明的连杆组70包含互相连接的第一连杆72及第二连杆73,其中, 第一连杆72连接于分析台20,而第二连杆73连接于基座10。借此使分析台 20沿第一导引方向或沿第二导引方向位移。
请参照图6,为本发明第四实施例所揭露的一种破片分析装置。于本实施 例中,连杆组70除包括第一连杆72及第二连杆73夕卜,更包括一可变长度的 伸縮杆74,连接该第一连杆72及该第二连杆73,用以升降分析台20,但非
以此为限。
本发明通过具有平台部22的分析台20承载破片,且可于破片分析完成之 后,通过导引装置30导引分析台20移动至容置空间12内,避免破片污染环 境。同时,导引装置30连接分析台20及基座10,且分析台也可以进一步移 动至容置空间12中,避免分析台20自基座10脱落,也确保容置空间12在移 动过程中被分析台密封,降低因基座倾倒导致破片散落的危机。
另外,虽然上述实施例之导引装置是以导轨与枢接元件的组合或者以连杆 组为例,但不限于此,只要能符合本发明的导引装置的概念者均可使用,亦即, 任何可连接基座与分析台,且可导引分析台沿第一导引方向或沿第二导引方向 位移,让分析台位于容置空间内或者位于开口上方的导引装置均可运用于本发 明。
当然,本发明还可有其它多种实施例,在不背离本发明精神及其实质的情 况下,熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形,但 这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种破片分析装置,其特征在于,包含一基座,具有一容置空间,且该基座的顶部具有一开口,连通该容置空间;一分析台,设置于该基座,具有一平台部用以承载破片;及至少一导引装置,连接该基座与该分析台,该导引装置具有一第一导引方向及一第二导引方向,且该导引装置导引该分析台沿该第一导引方向或沿该第二导引方向位移,使该分析台位于该容置空间内或者位于该开口上方。
2. 根据权利要求1所述的破片分析装置,其特征在于,还包含一第一轮组 件,设置于该基座的底部。
3. 根据权利要求1所述的破片分析装置,其特征在于,该分析台更包含--盖板部,设置于该平台部的侧边缘。
4. 根据权利要求1所述的破片分析装置,其特征在于,该分析台还包括至 少二侧板部,设置于该平台部的侧边缘。
5. 根据权利要求4所述的破片分析装置,其特征在于,该二侧板部分别具 有多数个定位标记,绘制于各该侧板部靠近该平台部的一表面。
6. 根据权利要求1所述的破片分析装置,其特征在于,该平台部具有多数个坐标网格线,绘制于该平台部的一表面。
7. 根据权利要求1所述的破片分析装置,其还包括一收集箱,设置于该容置空间中,且该收集箱具有靠近该开口的一收集口。
8. 根据权利要求7所述的破片分析装置,其特征在于,该基座的一侧面具 有一窗口,用以供该收集箱通过。
9. 根据权利要求8所述的破片分析装置,其特征在于,包含一门组件,枢 接于该窗口的边缘,用以开启或关闭该窗口。
10. 根据权利要求1所述的破片分析装置,其特征在于,该导引装置包含一第一导轨,设置于该基座,沿该第一导引方向延伸; 一第二导轨,设置于该分析台;及一枢接元件,枢接该第一导轨及该第二导轨,使该分析台的该第二导轨沿 该第一导引方向或沿该第二导引方向位移。
11. 根据权利要求io所述的破片分析装置,其特征在于,该枢接元件包含一连接件及二枢轴,其中该二枢轴设置于该连接件的两端,且分别枢接于 该第一导轨及该第二导轨。
12. 根据权利要求1所述的破片分析装置,其特征在于,该导引装置为 一连杆组,该连杆组的一端连接于该基座,另一端连接于该分析台,使该分析 台沿该第一导引方向或该第二导引方向位移而位于该容置空间内或者位于该 开口上方。
13. 根据权利要求12所述的破片分析装置,其特征在于,该连杆组包含互相连接的一第一连杆及一第二连杆,该第一连杆连接于该分析台,而该第 二连杆连接于该基座。
14. 根据权利要求13所述的破片分析装置,其特征在于,该连杆组还 包括一可变长度的伸縮杆,连接该第一连杆及该第二连杆。
15. 根据权利要求1所述的破片分析装置,其特征在于,该分析台可选 择地以该平台部或该盖板部覆盖于该开口。
16. 根据权利要求1所述的破片分析装置,其特征在于,该第一导引方 向垂直于该第二导引方向。
全文摘要
本发明公开了一种破片分析装置,包含一基座、一分析台以及至少一导引装置。基座具有一容置空间,且基座的顶部具有一开口,以连通至容置空间。分析台设置于基座,其中分析台具有一平台部,平台部用以承载待分析的破片。导引装置连接基座与分析台,且导引装置具有一第一导引方向及一第二导引方向。导引装置用以导引分析台沿第一导引方向或沿第二导引方向位移,使分析台位于开口上方以承载待分析破片,或者位于容置空间内并收集破片于容置空间中。
文档编号G02F1/13GK101368891SQ20081016793
公开日2009年2月18日 申请日期2008年10月16日 优先权日2008年10月16日
发明者林亨龙, 赵育舜 申请人:友达光电股份有限公司
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