一种oled蒸镀用掩膜板的制作方法

文档序号:3267726阅读:231来源:国知局
专利名称:一种oled蒸镀用掩膜板的制作方法
技术领域
—种OLED蒸镀用掩膜板
技术领域
本实用新型涉及ー种OLED蒸镀用掩膜板。
背景技木请參阅图I及图2所示,现有掩膜板2呈平板状,其上设有用于蒸镀有机膜层3的通孔,有机材料通过该通孔沉积于基板I上;当沉积完ー层有机膜层3后,有时还需要移动掩膜板2的位置以蒸镀另ー层有机膜层;掩膜板2的表面与先沉积形成的有机膜层3的表面平齐,移动掩膜板2时极有可能会压伤沉积好的有机膜层3。

实用新型内容本实用新型的目的是提供ー种OLED蒸镀用掩膜板,以有效防止再一次蒸镀有机膜层时压伤已经制备好的有机膜层。为达到以上目的,本实用新型采用如下技术方案ー种OLED蒸镀用掩膜板,包括平板状的本体,本体上设有若干通孔,本体上设有若干位于对应通孔旁侧的凸起。本实用新型进ー步的改进在于若干凸起设置于对应通孔的相同侧。本实用新型进ー步的改进在于若干凸起设置于蒸镀时本体朝向基板的ー侧。与现有技术相比,本实用新型具有以下优点本实用新型ー种OLED蒸镀用掩膜板,通过在本体的通孔旁侧设置凸起,时掩膜板的本体与已经形成的有机膜层之间具有一定的间距;蒸镀另一有机膜层时,移动掩膜板不会压伤已经形成的有机膜层。

图I为现有掩膜板蒸镀有机膜层的示意图;图2为移动掩膜板后压伤已经沉积好的有机膜层的示意图;图3为应用本实用新型掩膜板蒸镀有机膜层的示意图;图4为移动本实用新型掩膜板的示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进ー步详细描述。请參阅图3及图4所示,本实用新型ー种OLED蒸镀用掩膜板2,包括平板状的本体20,本体20上设有多个用于有机材料蒸镀时穿过并沉积在基板I上的通孔21,通孔21旁侧在本体20朝向基板I ー侧设有凸起22。这样如图4所示,蒸镀完有机膜层3后,移动掩膜板2时,掩膜板2的本体20没有与有机膜层3接触,进而不会压伤已经完成的有机膜层3。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.ー种OLED蒸镀用掩膜板,其特征在于,包括平板状的本体(20),本体(20)上设有若干通孔(21),本体(20)上设有若干位于对应通孔(21)旁侧的凸起(22)。
2.根据权利要求I所述的ー种OLED蒸镀用掩膜板,其特征在于,若干凸起(22)设置于对应通孔(21)的相同侧。
3.根据权利要求I或2所述的ー种OLED蒸镀用掩膜板,其特征在于,若干凸起(22)设置于蒸镀时本体(20)朝向基板(1)的ー侧。
专利摘要本实用新型公开了一种OLED蒸镀用掩膜板,包括平板状的本体,本体上设有若干通孔,本体上设有若干位于对应通孔旁侧的凸起;若干凸起设置于对应通孔的相同侧;若干凸起设置于蒸镀时本体朝向基板的一侧。本实用新型一种OLED蒸镀用掩膜板,通过在本体的通孔旁侧设置凸起,时掩膜板的本体与已经形成的有机膜层之间具有一定的间距;蒸镀另一有机膜层时,移动掩膜板不会压伤已经形成的有机膜层。
文档编号C23C14/04GK202658217SQ20122016925
公开日2013年1月9日 申请日期2012年4月19日 优先权日2012年4月19日
发明者叶添升 申请人:彩虹(佛山)平板显示有限公司
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