一种掩膜板组件的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种掩膜板组件，包括掩膜条和安装框架，所述掩膜条固定在所述安装框架上，所述掩膜条和所述安装框架之间具有第一重叠区域，在属于所述第一重叠区域的所述安装框架上或所述掩膜条上设置有第一通孔。本实用新型提供的掩膜板组件，不仅可以清除掉位于重叠区域的缝隙中的残留物，而且清洗液本身不会残留，从而可省去借助IPA进行擦除的步骤，既省时又省力。
【专利说明】
一种掩膜板组件
技术领域
[0001 ]本实用新型属于OLED显示技术领域，具体涉及一种掩膜板组件。
【背景技术】
[0002]有机电致发光(OLED,Organic Light-Emitting D1de)器件具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器的新兴应用技术。在OLED技术中，真空蒸镀中的掩膜板技术是一项非常重要和关键的技术，OLED有机蒸镀膜的技术是利用高精度掩膜板作为模具，有机材料高温挥发后以材料分子状态透过掩膜板的有效开口区的掩膜开口蒸镀到背板玻璃上，作为有机发光层，用于实现有机发光。其中，蒸镀使用的掩膜板组件包括多个掩膜条和安装框架，安装过程为:先将每个掩膜条通过夹具拉伸调整到其参数满足要求后，再将其贴合并固定到安装框架的表面。
[0003]然而，采用现有的掩膜板组件在实际应用中发现:掩膜条和安装框架之间存在重叠区域，这样，不仅在蒸镀过程中使得部分有机物残留在重叠区域的缝隙中，还有在清洗过程中使得部分清洗液残留在重叠区域的缝隙中，另外，在修复打磨掩膜板时会有较薄的晶膜残留在重叠区域的缝隙中，在上述多种情况下，一般需要用IPA(异丙醇，iso-Propylalcohol)擦拭纸进行擦除残留的残留物，费时费力。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种掩膜板组件，不仅可以清除掉位于重叠区域的缝隙中的残留物，而且清洗液本身不会残留，从而可省去借助IPA进行擦除的步骤，既省时又省力。
[0005]本实用新型提供了一种掩膜板组件，包括掩膜条和安装框架，所述掩膜条固定在所述安装框架上，所述掩膜条和所述安装框架之间具有第一重叠区域，在属于所述第一重叠区域的所述安装框架上或所述掩膜条上设置有第一通孔。
[0006]优选地，还包括用于支撑所述掩膜条的支撑条，所述支撑条固定在所述安装框架上;所述支撑条和所述掩膜条之间具有第二重叠区域，在属于所述第二重叠区域的所述支撑条或所述掩膜条上设置有第二通孔。
[0007]优选地，还包括设置在相邻两个所述掩膜条之间且位于所述支撑条背向所述掩膜条一侧的遮挡条，用于遮挡相邻两个所述掩膜条之间的间隙；所述遮挡条和所述支撑条之间具有第三重叠区域;在属于所述第三重叠区域的所述支撑条和/或所述遮挡条上设置有第二通孔。
[0008]优选地，在所述安装框架上设置所述第一通孔，所述第一通孔为直通孔。
[0009]优选地，对应所述掩膜条两端的所述第一重叠区域内的第一通孔的轴线方向相同。
[0010]优选地，对应所述掩膜条两端的所述第一重叠区域内的第一通孔的轴线方向不同。
[0011 ] 优选地，所述第二通孔采用刻蚀工艺形成。
[0012]本实用新型还提供另一种掩膜板组件，包括掩膜条、安装框架和支撑所述掩膜条的支撑条，所述掩膜条和所述支撑条固定在所述安装框架上;所述支撑条和所述掩膜条之间具有第二重叠区域，在属于所述第二重叠区域的所述支撑条或所述掩膜条上设置有第二通孔。
[0013]优选地，还包括设置在相邻两个所述掩膜条之间且位于所述支撑条背向所述掩膜条一侧的遮挡条，用于遮挡相邻两个所述掩膜条之间的间隙；所述遮挡条和所述支撑条之间具有第三重叠区域;在属于所述第三重叠区域的所述支撑条和/或所述遮挡条上设置有第二通孔。
[0014]优选地，所述第二通孔采用刻蚀工艺形成。
[0015]本实用新型具有以下有益效果:
[0016]本实用新型提供的一种掩膜板组件，在属于掩膜条和安装框架的第一重叠区域的掩膜条或安装框架上设置有第一通孔，第一通孔作为清洗液体和第一重叠区域的缝隙之间的连通通道，这可保证清洗液良好地流通，因而不仅可清除第一重叠区域的缝隙中残留的残留物，而且清洗液本身不会残留，从而可省去借助IPA进行擦除的步骤，既省时又省力。
[0017]本实用新型提供的另一种掩膜板组件，在属于掩膜条和支撑条的第二重叠区域的掩膜条和/或支撑条上设置有第二通孔，第二通孔作为清洗液体和第二重叠区域的缝隙之间的连通通道，这可保证清洗液良好地流通，因而不仅可清除第二重叠区域的缝隙中残留的残留物，而且清洗液本身不会残留，从而可省去借助IPA进行擦除的步骤，既省时又省力。
【附图说明】
[0018]附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
[0019]图1为本实用新型提供的掩膜板组件的俯视图；
[0020]图2a为图1中安装框架的结构示意图；
[0021]图2b为图1中安装框架的第一通孔的三种剖视图；
[0022]图3为图1中支撑条的结构示意图；
[0023]图4为图1中遮挡条的结构示意图。
【具体实施方式】
[0024]为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图来对本实用新型提供的掩膜板组件进行详细描述。
[0025]图1为本实用新型提供的掩膜板组件的俯视图；图2a为图1中安装框架的结构示意图；图213为图1中安装框架的第一通孔的三种剖视图；图3为图1中支撑条的结构示意图；图4为图1中遮挡条的结构示意图。请一并参阅图1至图4，本实用新型实施例提供的掩膜板组件，包括掩膜条1、安装框架2、支撑条3(howling)和遮挡条4(cover)。
[0026]其中，掩膜条I固定在安装框架2上，掩膜条I和安装框架2之间具有第一重叠区域A，在属于第一重叠区域A的安装框架2上或掩膜条I上设置有第一通孔10。
[0027]本实用新型实施例提供的掩膜板组件，由于在属于掩膜条I和安装框架2的第一重叠区域A的掩膜条I或安装框架2上设置有第一通孔10，第一通孔10作为清洗液体和第一重叠区域A的缝隙之间的连通通道，这可保证清洗液良好地流通，因而不仅可清除第一重叠区域A的缝隙中残留的残留物，而且清洗液本身不会残留，从而可省去借助IPA(异丙醇，iso-Propyl alcohol)擦拭纸进行擦除的步骤，既省时又省力。
[0028]请参阅图2a，在本实施例中，在安装框架2上设置第一通孔10，而不在掩膜条I上设置第一通孔1，这是为了避免在掩膜条I上设置通孔而发生褶皱的问题。
[0029]再请参阅图2b，第一通孔10为直通孔，也即，该第一通孔10的轴线为直线。另外，对应掩膜条I两端的第一重叠区域A内的第一通孔10的轴线方向相同，如图2b中最上面和中间的剖视图所示；也可以对应掩膜条I两端的第一重叠区域A内的第一通孔10的轴线方向不同，如图2b中最下面的剖视图所示。
[0030]另外，结合图1和图3，支撑条3用于支撑掩膜条2，以减小掩膜条2的下垂量，支撑条3固定在安装框架I上;支撑条3和掩膜条I之间具有第二重叠区域B，在属于第二重叠区域B的支撑条3或掩膜条I上设置有第二通孔11。
[0031]可以理解，由于在属于掩膜条I和支撑条3的第二重叠区域B的掩膜条I或支撑条3上设置有第二通孔11，第二通孔11作为清洗液体和第二重叠区域B的缝隙之间的连通通道，这可保证清洗液良好地流通，因而不仅可清除第二重叠区域B的缝隙中残留的残留物，而且清洗液本身不会残留，从而可省去借助IPA进行擦除的步骤，既省时又省力。
[0032]优选地，在支撑条3上设置上述第二通孔11，不在掩膜条I上设置第二通孔11，这是为了避免在掩膜条I上设置通孔而发生褶皱的问题。
[0033]另外，遮挡条4设置在相邻两个掩膜条I之间且位于支撑条背3向所述掩膜条一侧，用于遮挡相邻两个掩膜条I之间的间隙；遮挡条4和支撑条I之间具有第三重叠区域C;在属于第三重叠区域C的支撑条I和/或遮挡条4上设置有第二通孔11。
[0034]可以理解，由于在属于遮挡条4和支撑条3的第三重叠区域C的遮挡条4和/或支撑条3上设置有第二通孔11，第二通孔11作为清洗液体和第三重叠区域C的缝隙之间的连通通道，这可保证清洗液良好地流通，因而不仅可清除第三重叠区域C的缝隙中残留的残留物，而且清洗液本身不会残留，从而可省去借助IPA进行擦除的步骤，既省时又省力。
[0035]优选地，在本实施例中，在属于遮挡条4和支撑条3的第三重叠区域C的遮挡条4和支撑条3上均设置有第二通孔11，在这种情况下，能够加快蒸镀材料和清洗材料等的流失，但是，为了避免蒸镀材料的泄露对蒸镀工艺产生影响，因此，遮挡条4和支撑条3上设置的第二通孔11相互错开，也即不连通。
[0036]优选地，上述第二通孔11采用刻蚀工艺形成，便于第二通孔11的形成，这是因为第一通孔11所在的掩膜条1、支撑条3或遮挡条4的厚度、宽度较小且所采用的材料的硬度较低。
[0037]在本实施例中，掩膜条I采用金属材料制成。
[0038]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种掩膜板组件，包括掩膜条和安装框架，所述掩膜条固定在所述安装框架上，其特征在于，所述掩膜条和所述安装框架之间具有第一重叠区域，在属于所述第一重叠区域的所述安装框架上或所述掩膜条上设置有第一通孔。2.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，还包括用于支撑所述掩膜条的支撑条，所述支撑条固定在所述安装框架上； 所述支撑条和所述掩膜条之间具有第二重叠区域，在属于所述第二重叠区域的所述支撑条或所述掩膜条上设置有第二通孔。3.根据权利要求2所述的掩膜板组件，其特征在于，还包括设置在相邻两个所述掩膜条之间且位于所述支撑条背向所述掩膜条一侧的遮挡条，用于遮挡相邻两个所述掩膜条之间的间隙； 所述遮挡条和所述支撑条之间具有第三重叠区域； 在属于所述第三重叠区域的所述支撑条和/或所述遮挡条上设置有第二通孔，若在所述支撑条和所述遮挡条上均设置第二通孔，则二者上的所述第二通孔相互错开。4.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，在所述安装框架上设置所述第一通孔，所述第一通孔为直通孔。5.根据权利要求4所述的掩膜板组件，其特征在于，对应所述掩膜条两端的所述第一重叠区域内的第一通孔的轴线方向相同。6.根据权利要求4所述的掩膜板组件，其特征在于，对应所述掩膜条两端的所述第一重叠区域内的第一通孔的轴线方向不同。7.根据权利要求2或3所述的掩膜板组件，其特征在于，所述第二通孔采用刻蚀工艺形成。8.一种掩膜板组件，包括掩膜条、安装框架和支撑所述掩膜条的支撑条，所述掩膜条和所述支撑条固定在所述安装框架上;所述支撑条和所述掩膜条之间具有第二重叠区域，其特征在于，在属于所述第二重叠区域的所述支撑条或所述掩膜条上设置有第二通孔。9.根据权利要求8所述的掩膜板组件，其特征在于，还包括设置在相邻两个所述掩膜条之间且位于所述支撑条背向所述掩膜条一侧的遮挡条，用于遮挡相邻两个所述掩膜条之间的间隙； 所述遮挡条和所述支撑条之间具有第三重叠区域； 在属于所述第三重叠区域的所述支撑条和/或所述遮挡条上设置有第二通孔。10.根据权利要求8或9所述的掩膜板组件，其特征在于，所述第二通孔采用刻蚀工艺形成。
【文档编号】C23C14/04GK205528995SQ201620366050
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年4月27日
【发明人】林治明, 王震
【申请人】鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 京东方科技集团股份有限公司