一种用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，包括自上而下设置的承载台、掩膜底座、掩膜图版和压条，所述掩膜底座为一个中空的方形框架，所述承载台嵌套于掩膜底座内，所述掩膜底座和掩膜图版上均设置有对准槽，所述掩膜底座、掩膜图版和压条上均设置有圆孔，圆孔内设有螺丝将掩膜底座、掩膜图版和压条紧固为一体式。本实用新型采用全金属材料，不易变形、老化、可反复使用。本实用新型的导热性好，可以通过镀膜机的机台冷却，保护样品不受高温的影响。当掩膜图形改变时，仅需要只要重新设计掩膜图版进行替换就可，装置其他部分可以继续使用，降低成本。
【专利说明】
一种用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置
技术领域
[0001] 本实用新型属于太阳电池技术领域，特别涉及一种用于太阳电池背面镀膜的掩膜 装置。
【背景技术】
[0002] 太阳电池发展的方向是低成本、高效率，目前随着晶体硅太阳电池生产成本下降， 硅片的厚度不断变薄。一方面造成部分扩散长度接近或大于硅片厚度的少数载流子在电池 背面复合，另一方面造成基体对长波的吸收减少，从而影响电池效率。在电池背面形成钝化 层或反射层能够减少背面复合效应同时提高长波反射率，因此能够有效提高太阳电池的转 化效率。目前常见的PERL、PERC、SE、LFC高效电池和背面蒸发铝等增强背反射工艺技术都涉 及到背面开槽的工艺来实现背面金属化或局部铝背场。但激光开槽一方面需要额外设备成 本另一方面激光本身产生对电池的损伤不可避免。因此在背面钝化层形成过程将不需要镀 膜部分通过掩膜的手段进行遮挡是一种既经济又不伤电池的手段。通常的掩膜采用在硅片 表面按一定要求涂覆特定的化学物质，在镀膜厚再将其清洗掉，其工艺较复杂而且在特定 的物理法镀膜如热蒸发镀膜、磁控溅射、离子束蒸发铝等并不适用。 【实用新型内容】
[0003] 实用新型目的：本实用新型提供了一种用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，以解 决现有技术中的问题。
[0004] 技术方案:为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
[0005] -种用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，包括自上而下设置的承载台、掩膜底座、 掩膜图版和压板，所述掩膜底座为一个中空的方形框架，所述承载台嵌套于掩膜底座内，所 述掩膜底座和掩膜图版上均设置有对准槽，所述掩膜底座、掩膜图版和压板上均设置有圆 孔，圆孔内设有螺丝将掩膜底座、掩膜图版和压板紧固为一体式。
[0006] 进一步的，所述掩膜底座四周的边框上均设置有掩膜底座圆孔，且其中一组相对 的两条侧边上还设置有掩膜底座对准槽，且这两条侧边上均设置有两个掩膜底座对准槽。
[0007] 进一步的，所述掩膜图版也是一个中空的方形框架，且长宽和形状均与掩膜底座 相同。
[0008] 进一步的，所述掩膜图版四周的边框上均设置有掩膜图版圆孔，且其中一组相对 的两条侧边上设置有掩膜图版对准槽，且这两条侧边上均设置有掩膜图版对准槽。
[0009] 进一步的，所述压板相对的两侧边上均设置有压板圆孔。
[0010] 进一步的，所述压板相对的两侧边上通过6根相互平行的横条连接。
[0011] 优选的，所述承载台为铜板，厚度为2.3-2.5mm。
[0012] 优选的，所述掩膜底座为不锈钢板，厚度为2.0-2.3mm〇
[0013] 优选的，所述掩膜图版为不锈钢板，厚度为1.5-1.8mm。
[0014]优选的，所述压板为不锈钢板，厚度2.0-2.3mm。
[0015] 有益效果：
[0016] 第一、本实用新型采用全金属材料，不易变形、老化、可反复使用。
[0017] 第二、本实用新型的导热性好，可以通过镀膜机的机台冷却，保护样品不受高温的 影响。
[0018] 第三、当掩膜图形改变时，仅需要只要重新设计掩膜图版进行替换就可，装置其他 部分可以继续使用，降低成本。
【附图说明】
[0019] 图1为本实用新型的组装结构示意图；
[0020] 图2为本实用新型中承载台的结构示意图；
[0021 ]图3为本实用新型中掩膜底座的结构示意图；
[0022] 图4为本实用新型中掩膜图版的结构示意图；
[0023] 图5为本实用新型中压板的结构示意图；
[0024] 其中：1-承载台，2-掩膜底座，21-掩膜底座圆孔，22-掩膜底座对准槽，3-掩膜图 版，31-掩膜图版圆孔，32-掩膜图版对准槽，33-电极位置，4-压板，41-压板圆孔，42-横条。
【具体实施方式】
[0025] 下面结合实施例对本实用新型作更进一步的说明。
[0026] 如图1-5所示，一种用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，包括自上而下设置的承载 台1、掩膜底座2、掩膜图版3和压板4,所述掩膜底座2为一个中空的方形框架，所述承载台1 嵌套于掩膜底座2内，所述掩膜底座2和掩膜图版3上均设置有对准槽，所述掩膜底座2、掩膜 图版3和压板4上均设置有圆孔，圆孔内设有螺丝将掩膜底座2、掩膜图版3和压板4紧固为一 体式。
[0027] 所述掩膜底座2四周的边框上均设置有掩膜底座圆孔21，且其中一组相对的两条 侧边上还设置有掩膜底座对准槽22，且这两条侧边上均设置有两个掩膜底座对准槽22。
[0028] 所述掩膜图版3也是一个中空的方形框架，且长宽和形状均与掩膜底座2相同。
[0029] 所述掩膜图版3四周的边框上均设置有掩膜图版圆孔31，且其中一组相对的两条 侧边上设置有掩膜图版对准槽32，且这两条侧边上均设置有掩膜图版对准槽32。
[0030] 所述压板4相对的两侧边上均设置有压板圆孔41。
[0031]所述压板4相对的两侧边上通过6根相互平行的横条42连接。
[0032]所述承载台1为铜板，厚度为2.3-2.5mm。
[0033] 所述掩膜底座2为不锈钢板，厚度为2.0-2.3mm。
[0034] 所述掩膜图版3为不锈钢板，厚度为1.5-1.8mm。
[0035]所述压板4为不锈钢板，厚度2 · 0-2 · 3mm。
[0036] 所述掩膜底座对准槽22和掩膜图版对准槽32的位置均相互对应，所述掩膜底座圆 孔21、掩膜图版圆孔31和压板圆孔41的位置均相互对应，将所有圆孔和对准槽均对齐后，在 圆孔内安装螺钉即可将掩膜底座2、掩膜图版3和压板4紧固为一体式。
[0037] 如图1所示，本实用新型自下而上包括4个部分:承载台1、掩膜底座2、掩膜图版3和 压板4,所述承载台1能够自由移动。
[0038] 如图2所示，所述承载台1的材料为铜板，厚度为2.5mm，尺寸为156.3mmX 156.3mm， 待镀膜电池片镀膜面朝上放置在承载台上。所述承载台1的作用为承载待镀膜电池片。
[0039] 如图3所示，所述掩膜底座2的材料为不锈钢板，厚度为2.3mm，外形尺寸为182mm X 182mm，掩膜底座2为中空结构，且四边有掩膜底座圆孔21及掩膜底座对准槽22,掩膜底座2 的中空位置的大小为156.5mm X 156.5mm，恰好能够使承载台1嵌套在内部。
[0040] 如图4所示，所述掩膜图版3的材料为不锈钢板，厚度为1.6mm，外形尺寸与掩膜底 座2相同，四边设有掩膜图版圆孔31及掩膜图版对准槽32，掩膜图版3的中间155mm X 155mm 为镂空结构，非镂空部掩膜位置，镂空位置图形可根据实际需要通过数控车床加工，进行替 换。图4中为电极位置33。
[0041 ]如图5所示，所述压板4的材料为不锈钢板，厚度2mm，两头设有压板圆孔41，可通过 螺钉与掩膜图版3和掩膜底座2对齐后固定，中间6条为2mm X 155mm横条42,用于压实掩膜图 版中间的图形，能够避免掩膜与电池片之间存在间隙，保证掩膜效果。
[0042]本实用新型实施效果验证分别采用磁控溅射、热蒸发、离子束蒸发利用上述掩膜 装置在硅片背后蒸镀铝膜30min，镀膜结果如下表：
[0043]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技 术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和 润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1. 一种用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，其特征在于:包括自上而下设置的承载台 (1)、掩膜底座(2)、掩膜图版(3)和压板(4)，所述掩膜底座(2)为一个中空的方形框架，所述 承载台（1)嵌套于掩膜底座(2)内，所述掩膜底座(2)和掩膜图版(3)上均设置有对准槽，所 述掩膜底座(2)、掩膜图版(3)和压板(4)上均设置有圆孔，圆孔内设有螺丝将掩膜底座(2)、 掩膜图版(3)和压板(4)紧固为一体式。2. 根据权利要求1所述的用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，其特征在于:所述掩膜底 座（2)四周的边框上均设置有掩膜底座圆孔(21)，且其中一组相对的两条侧边上还设置有 掩膜底座对准槽(22)，且这两条侧边上均设置有两个掩膜底座对准槽(22)。3. 根据权利要求1所述的用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，其特征在于:所述掩膜图 版(3)也是一个中空的方形框架，且长宽和形状均与掩膜底座(2)相同。4. 根据权利要求3所述的用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，其特征在于:所述掩膜图 版(3)四周的边框上均设置有掩膜图版圆孔(31)，且其中一组相对的两条侧边上设置有掩 膜图版对准槽(32)，且这两条侧边上均设置有掩膜图版对准槽(32)。5. 根据权利要求1所述的用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，其特征在于：所述压板 (4)相对的两侧边上均设置有压板圆孔(41)。6. 根据权利要求5所述的用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，其特征在于：所述压板 (4)相对的两侧边上通过6根相互平行的横条(42)连接。7. 根据权利要求1所述的用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，其特征在于:所述承载台 (1)为铜板，厚度为2.3-2.5mm。8. 根据权利要求1所述的用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，其特征在于:所述掩膜底 座(2)为不锈钢板，厚度为2.0-2.3mm。9. 根据权利要求1所述的用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，其特征在于:所述掩膜图 版(3)为不锈钢板，厚度为1.5-1.8mm。10. 根据权利要求1所述的用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，其特征在于:所述压板 (4)为不锈钢板，厚度2.0-2.3mm。
【文档编号】H01L31/18GK205528994SQ201620055595
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年1月21日
【发明人】蒲天, 罗旌旺, 吴兢, 芮春保
【申请人】江苏辉伦太阳能科技有限公司