技术编号:3268932
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及带正反转内玻璃管夹具的真空溅射镀膜设备。背景技术现有的全玻璃真空集热管,包括热管与内玻璃管一体化制作的热管集热管,具有极高的吸收率和极低的发射率,在得到令人满意的集热性能和集热温度的同时,也使空晒温度达到230°C以上。这样高的空晒温度有时带来一体化制作的热管エ质蒸汽压过高并造成炸管事故等问题。 发明内容本实用新型的目的是要提供带正反转内玻璃管夹具的真空溅射镀膜设备。本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案用靶座、内玻璃管エ装夹具、控制和传动...
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