技术编号:3269121
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空蒸发镀膜,特别涉及一种镀膜机。背景技术目前,行业内镜片镀膜加工使用的蒸发镀膜设备多采用旋转基片的方式来保证膜层厚度的均匀性。如图I所示,在镀膜的真空腔室Γ上部设置有由电机2'驱动旋转的镀膜伞3',镀膜伞3'中心到边缘的不同半径的位置上设的数个镜片放置孔31',在镀膜伞3'中心到边缘的一中间位置处下方设置有由蒸发物质41'如金属、化合物等置于坩埚 42'内构成的蒸发源4',待真空腔室I'抽至高真空后,由电机2'驱动镀膜伞3'以一定速度旋转,...
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