专利名称：一种镀膜机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空蒸发镀膜技术领域，特别涉及一种镀膜机。
背景技术：
目前，行业内镜片镀膜加工使用的蒸发镀膜设备多采用旋转基片的方式来保证膜层厚度的均匀性。如图I所示，在镀膜的真空腔室Γ上部设置有由电机2'驱动旋转的镀膜伞3'，镀膜伞3'中心到边缘的不同半径的位置上设的数个镜片放置孔31'，在镀膜伞3'中心到边缘的一中间位置处下方设置有由蒸发物质41'如金属、化合物等置于坩埚 42'内构成的蒸发源4'，待真空腔室I'抽至高真空后，由电机2'驱动镀膜伞3'以一定速度旋转，同时，加热坩埚42'使其上的蒸发物质41'蒸发。蒸发物质41'的原子或分子以冷凝方式沉积在镜片表面，通过成膜过程，即散点一岛状结构-迷走结构-层状生长而形成薄膜。薄膜厚度可由数百埃至数微米。由于，薄膜厚度决定于蒸发源4'的蒸发速率和时间，并与蒸发源4'和镜片间的距离有关。故而蒸发源4'折中设置在镀膜伞3'中心到边缘的一中间位置处下方，但尽管如此，镀膜伞3,上中部位置上镜片的薄膜厚度往往厚于其它位置上镜片的薄膜厚度，使得加工出来的产品膜厚误差大，光学薄膜厚度均匀性不好。
实用新型内容为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种镀膜机，以达到减小膜厚误差，提高光学薄膜厚度均匀性的目的。为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，所述蒸发源和所述镀膜伞之间还设置有一橄榄形修正板，所述修正板的两端尖部分别位于所述镀膜伞中心和边缘的下方。优选的，所述修正板设于所述蒸发源的正上方，且其两端尖部分别到所述镀膜伞之间的距离相等。优选的，所述修正板由支撑杆支撑固定于所述真空腔室的底面上。通过上述技术方案，本实用新型提供的一种镀膜机通过在蒸发源和镀膜伞之间设置一橄榄形修正板，通过修正板中间宽，两端趋于尖细的形状特点，可有效调整、修正旋转的镀膜伞上中心到边缘上各位置处工件上形成的薄膜厚度，减小膜厚误差，大大提高光学薄膜厚度均匀性。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。[0011]图I为现有技术中的镀膜机示意图；图2为本实用新型实施例所公开的一种镀膜机示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。本实用新型提供了一种镀膜机，如图2所示，包括真空腔室I、电机2、镀膜伞3、蒸发源4和修正板5。所述镀膜伞3设于所述真空腔室I的上部，其中心处通过转轴连接有电机2，可由电机2驱动其旋转；所述镀膜伞3中心到边缘的不同半径的位置上环形阵列有数个工件放置孔31，用以放置工件；所述镀膜伞3 —侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源4，于此，即为镀膜伞3弧形伞面一侧的二分之一位置处下方设置有蒸发源4;于本实 施例中，由蒸发物质41置于坩埚42内作为蒸发源4 ;所述蒸发源4和所述镀膜伞3之间设置有一所述修正板5，所述修正板5呈橄榄形，具体位于所述蒸发源4的正上方，即修正板5的对称中心投影在所述蒸发源4的中心位置上，所述修正板5两端尖部分别位于所述镀膜伞3中心和边缘的下方，且分别到所述镀膜伞3中心和边缘的距离相等。所述修正板5由支撑杆支撑固定于所述真空腔室I的底面上。工作时，将工件置于镀膜伞3上的工件放置孔31上，并将镀膜伞3安装固定好后，将真空腔室I抽至高真空，由电机2驱动镀膜伞3旋转，同时加热坩埚42，使其上的蒸发物质41蒸发，蒸发物质41的原子或分子以冷凝方式沉积在修正板5及工件表面，形成薄膜，由于修正板5具有中间粗，两端尖细的形状特点，通过将其置于所述蒸发源4和所述镀膜伞3之间，可调整、修正镀膜伞3上中心到边缘的不同半径的位置上工件的膜厚，减小工件的膜厚误差，使得加工出来的工件膜厚误差小，膜厚均匀性好。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，其特征在于，所述蒸发源和所述镀膜伞之间还设置有一橄榄形修正板，所述修正板的两端尖部分别位于所述镀膜伞中心和边缘的下方。
2.根据权利要求I所述的一种镀膜机，其特征在于，所述修正板设于所述蒸发源的正上方，且其两端尖部分别到所述镀膜伞之间的距离相等。
3.根据权利要求2所述的一种镀膜机，其特征在于，所述修正板由支撑杆支撑固定于所述真空腔室的底面上。
专利摘要本实用新型公开了一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，所述蒸发源和所述镀膜伞之间还设置有一橄榄形修正板，所述修正板的两端尖部分别位于所述镀膜伞中心和边缘的下方。通过橄榄形修正板中间宽，两端尖细的形状来调整修正镀膜伞上工件的膜厚均匀性，具有减小膜厚误差，提高光学薄膜厚度均匀性的优点。
文档编号C23C14/24GK202766611SQ201220244520
公开日2013年3月6日 申请日期2012年5月29日 优先权日2012年5月29日
发明者许峰 申请人:苏州市博飞光学有限公司