技术编号:3270813
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种成膜装置,特别是一种连续式进行真空蒸镀的成膜装置。背景技术真空蒸镀作为无机膜及有机膜的制作方法被广泛使用,通过真空蒸镀的方式在光学零部件等的表面形成具有防污性能的有机膜的方法而被认知。例如通过构成真空蒸镀装置的釜中安装的加热器使制作有机膜的蒸镀材料加热汽化、向成膜对象的表面喷出蒸镀材料的蒸汽并沉积,从而形成有机膜。作为形成有机膜的蒸镀装置有很多种类。例如,专利文献I中记载的一种成膜装 置,使用固体或粉末状的有机膜形成用蒸镀材料,通过真空蒸...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。