专利名称：成膜装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种成膜装置，特别是一种连续式进行真空蒸镀的成膜装置。
背景技术：
真空蒸镀作为无机膜及有机膜的制作方法被广泛使用，通过真空蒸镀的方式在光学零部件等的表面形成具有防污性能的有机膜的方法而被认知。例如通过构成真空蒸镀装置的釜中安装的加热器使制作有机膜的蒸镀材料加热汽化、向成膜对象的表面喷出蒸镀材料的蒸汽并沉积，从而形成有机膜。作为形成有机膜的蒸镀装置有很多种类。例如，专利文献I中记载的一种成膜装 置，使用固体或粉末状的有机膜形成用蒸镀材料，通过真空蒸镀法形成有机膜。另外，在专利文献2的图4以及对应说明书的记载公开了一种成膜装置，把含有液体状防污剂的多孔片材或是液体状的防污剂等物直接用容器加热蒸发进行蒸镀。专利文献3公开了将带有全氟烷基的硅烷化合物等有机硅烷化合物浸于多孔性无机氧化物中的蒸镀材料，在高真空度下进行真空蒸镀获得防水性膜的方法。为了防止蒸镀材料劣化和保证其均匀性，需要将上述真空蒸镀中使用的有机膜形成用蒸镀材料在溶剂中溶解成溶液状态后使用。但是，例如以连续式进行真空蒸镀的成膜装置中，使用液态的有机膜形成用蒸镀材料进行蒸镀时，在蒸镀材料中容易混入溶剂，形成的有机膜在耐久性以及耐磨性等性能方面有膜质变劣的倾向等不利之处。现有技术文献专利文献专利文献I专利公开2009- 263751号专利文献2专利公开2002- 155353号专利文献3专利公开平成9一 137122号。
发明内容本实用新型要解决的问题是，以连续式使用液态蒸镀材料进行蒸发镀膜时，难以防止所形成的膜的质量劣化。为了解决上述问题，本实用新型采用以下技术方案本实用新型的成膜装置包括蒸镀釜、通过挡板与所述蒸镀釜隔开的副釜、贯通挡板从所述蒸镀釜内朝向所述副釜内而设置并且可以从所述副釜向所述蒸镀釜移动的蒸镀材料供给传输带、将置于副釜中的已在溶剂中溶解形成蒸镀溶液的蒸镀材料提供给所述蒸镀材料供给传输带的蒸镀溶液供给部、设置在所述蒸镀釜内部并使所述蒸镀釜内所定各个位置上的所述蒸镀材料供给传输带上的蒸镀材料气化进行加热的加热部，以及设置在所述蒸镀釜内并保持及搬送所述基板的基板夹具。所述副釜中的所述蒸镀溶液供给部供给的所述蒸镀溶液内的所述蒸镀材料留在所述蒸镀材料供给传输带上，使所述溶剂挥发而分离，所述蒸镀釜内通过所述加热部加热使所述蒸镀材料汽化得到所述蒸镀材料的蒸汽，使蒸汽喷在所述基板上并沉积，从而形成所述蒸镀材料的膜。上述本实用新型的成膜装置具有蒸镀釜、副釜、蒸镀材料供给传输带、蒸镀溶液供给部、加热部和基板夹具。副釜通过挡板与所述蒸镀釜隔开。蒸镀材料供给传输带贯通挡板从所述蒸镀釜内朝向所述副釜内而设置，并可以从所述副釜向所述蒸镀釜移动。蒸镀溶液供给部将已在溶剂中溶解形成蒸镀溶液的蒸镀材料提供给位于副釜的蒸镀材料供给传输带。加热部设置在蒸镀釜内部，将蒸镀釜内所定各个位置上的蒸镀材料供给传输带上的蒸镀材料进行加热汽化。基板夹具设置在所述蒸镀釜内，并保持及搬送所述基板。在这里，由副釜中蒸镀溶液供给部供给的蒸镀溶液中的蒸镀材料留在蒸镀材料供给传输带上，使溶剂挥发而分离，蒸镀釜内通过加热部加热使蒸镀材料汽化得到蒸镀材料的蒸汽，使蒸汽喷在基板上并沉积，从而形成蒸镀材料的膜。上述本实用新型的成膜装置，较好地，所述蒸镀材料供给传输带呈环状，即具有从所述副釜向所述蒸镀釜移动后再回到所述副釜的结构。·上述本实用新型的成膜装置，较好地，把来自所述副釜中的所述蒸镀溶液供给部供给的所述蒸镀溶液中的所述蒸镀材料留在所述蒸镀材料供给传输带上，使所述溶剂连续地挥发而分尚。上述本实用新型的成膜装置，较好地，所述蒸镀溶液供给部连续地将所述蒸镀溶液提供到所述蒸镀材料供给传输带上。上述本实用新型的成膜装置，较好地，所述基板夹具以连续式在成膜过程中连续地搬送所述基板。上述本实用新型的成膜装置，较好地，所述基板夹具在每个成膜过程中以步进式重复操作所述基板的搬送及保持静止。上述本实用新型的成膜装置，较好地，具有使所述蒸镀材料供给传输带从所述副釜移动到所述蒸镀釜的蒸镀材料供给传输带驱动部，使所述蒸镀材料供给传输带从所述副爸移动到所述蒸镀爸。上述本实用新型的成膜装置，较好地，把所述副釜、所述蒸镀材料供给传输带、所述蒸镀溶液供给部以及所述加热部集成为一个整体。上述本实用新型的成膜装置，较好地，所述副釜由被挡板隔成的多个腔室构成，每个腔室各有一个抽真空的真空泵，以保持多个串连的腔室的背压依次降低。更好地，所述副釜由被挡板隔成的3个以上腔室构成。实用新型的效果本实用新型的成膜装置，以连续式使用溶液状态的蒸镀材料进行真空蒸镀，把来自于副釜中蒸镀溶液供给部供给的蒸镀溶液中的蒸镀材料留在蒸镀材料供给传输带上，使溶剂挥发而分离后，通过置于蒸镀釜内的加热部加热而汽化得到的蒸镀材料的蒸汽喷向基板并沉积，形成蒸镀材料的膜.本实用新型可以防止所形成的膜的膜质劣化。
图I是本实用新型成膜装置实施例I的结构示意图。[0031]图2是本实用新型成膜装置实施例2的结构示意图。图3是本实用新型成膜装置实施例3的结构示意图。图4是本实用新型成膜装置实施例4的结构示意图。图5是本实用新型成膜装置实施例5的结构示意图。图6是本实用新型成膜装置实施例6的结构示意图。图7是本实用新型成膜装置实施例6的结构示意图。图8是本实用新型成膜装置实施例6的结构示意图。图9是本实用新型成膜装置实施例6的结构示意图。图10是本实用新型成膜装置实施例6的结构示意图。图11是本实用新型成膜装置实施例7的结构示意图。图12是本实用新型成膜装置实施例7的结构示意图。图13是本实用新型成膜装置实施例7的结构示意图。图14是本实用新型成膜装置实施例7的结构示意图。图15是本实用新型成膜装置实施例7的结构示意图。图16是本实用新型成膜装置实施例8的结构示意图。符号说明I…基板2…搬送方向10…蒸镀釜1L···真空泵20…副釜20S…第一腔室21…真空泵22…第二腔室23…真空泵24…第二腔室25…真空泵26…第三腔室27…真空泵30…蒸镀材料供给传输带31…第一转动驱动部32…第二转动驱动部33…加热部33S…分配器34…供给管40…档板41…第一档板42…第二档板43…第一档板[0070]44…第二档板45…第三档板20A，20B，20C …副釜21A，21B，210.真空泵30A, 30B, 30C···蒸镀材料供给传输带33A，33B，330.加热部34A，34B，340.供给管40A，40B，40C …档板 A…第一单元B…第二单元C…第三单元
具体实施方式
下面，参照附图说明本实用新型的成膜装置以及使用本实用新型的成膜装置形成有机膜方法的实施方式。实施例I「成膜装置的结构」图I是本实用新型中的实施例I的成膜装置的结构示意图。例如，成膜装置具有蒸镀釜10、副釜20、蒸镀材料供给传输带30、蒸镀溶液供给部(未在图中示出)、加热部33和基板夹具(未在图中示出)。蒸镀釜10通过排气管与真空泵11连接，其内部的气体压力可以降低到设定的压力。按照真空蒸镀法成膜时，例如蒸镀釜内的背压大约是10_2 10_5Pa。副釜20是用档板40从蒸镀釜10中隔出所构成的。副釜20通过排气管与真空泵21连接，其内部的气体压力可以降低到设定的压力。真空蒸镀成膜时，例如副釜20内的背压大约是10 一2 10_5Pa。副釜20的背压与蒸镀釜10相比真空度可以做到更低。蒸镀材料供给传输带30设置成贯通档板40、从蒸镀釜10内到副釜20内，并且可以从蒸镀釜10移动到副釜20。例如，蒸镀材料供给传输带为环状，具有从蒸镀釜10移动到副釜20后，可以再回到蒸镀釜10这样的结构。例如，蒸镀材料供给传输带30由具有耐热性和耐腐蚀性的不锈钢等材料做成，可以做成板状、线状、网状等。在本实施例中，蒸镀材料供给传输带虽然是带状的，但并不仅限于此。例如可以设计成复数个台子从蒸镀釜10移动到副釜20，只要是可以将蒸镀材料从蒸镀釜10移动到副釜20的结构，在本实施例中，便可以替代蒸镀材料供给传输带来使用。蒸镀材料供给传输带的长度对应成膜装置的大小等可以进行调节，例如可以是500 2000mm的长度范围，可以是IOOOmm的长度。还有，蒸镀材料供给传输带的宽度也是对应成膜装置的大小、基板的大小等等可以进行调节。例如30 200mm的宽度范围。例如具有使蒸镀材料供给传输带30从副釜20移动到蒸镀釜10的蒸镀材料供给传输带驱动部，其使蒸镀材料传输带30从副釜20移动到蒸镀釜10。在本实施例中，蒸镀材料供给传输带的驱动部是由位于副釜20内的第一转动驱动部31和位于蒸镀釜10内的第二转动驱动部32组成。第一转动驱动部31和第二转动驱动部32是使蒸镀材料供给传输带30移动的驱动部件，分别是由使轴承和轴承转动起来的部分以及连接轴承的圆筒形状部件等所构成。如上面所描述的那样，蒸镀材料供给传输带30为环状，其构造是凭借着第一转动驱动部31和第二转动驱动部32使蒸镀材料供给传输带30传动，从副釜20移动到蒸镀釜10，然后再回到副釜20。 在本实施例的结构中，第一转动驱动部31和第二转动驱动部32被设置为沿垂直方向分开，蒸镀材料供给传输带30沿垂直方向进行移动。虽然档板40被蒸镀材料供给传输带30贯通，为了保持副釜20和蒸镀釜10之间的压力差，被贯通部位和蒸镀材料供给传输带30之间的缝隙要尽可能地小。蒸镀材料溶液供给部(未图示)连接在供给管34上，蒸镀材料在溶剂中溶解后的蒸镀溶液被供给到位于副釜20中的蒸镀材料供给传输带30上。在本实施例的结构中，向蒸镀材料供给传输带30与第一转动驱动部31接触的部位上供给蒸镀溶液。例如蒸镀溶液供给部可以由针眼阀、喷出调解器、螺杆泵等方式构成，可以向蒸镀材料供给传输带30上连续地供给蒸镀材料溶液。加热部33设置在蒸镀釜10内，使在蒸镀材料供给传输带30上所定各个位置上的蒸镀材料汽化而进行加热。在本实施例中，虽然表示的是电阻加热方式的盒子型的加热部33，但是不仅限于此，还可以采用电子光束照射等各种方式，进行加热的位置也可以适当地选择。另外，采用蒸镀材料供给传输带30本身可以被加热的结构，也可以对蒸镀材料供给传输带30直接进行加热。在使用盒子型加热部的情况下，在本实施例中虽然以覆盖第二转动驱动部32的方式配置了加热部33，但是并不仅限于此，第二转动驱动部32被设置在加热部33的外部也可以。基板夹具(未图示)设置在蒸镀釜10内，放置基板I并且将基板I搬送到搬送方向2。所述的基板在蒸镀釜10内的运动采用连续行进式或步进式移动例如基板夹具通过连续行进式在成膜过程中把基板I朝搬送方向2连续地搬送。或者例如基板夹具通过步进式在每个成膜过程中把基板I朝搬送方向2进行有停顿地移动。在本实施例的结构中，基板I配置在加热部33的垂直下方。对于本实施例的成膜装置，例如把来自于副釜20中蒸镀溶液供给部供给的蒸镀溶液中的蒸镀材料留在蒸镀材料供给传输带30上，使溶剂连续地挥发而分离。如上所述，即使蒸镀溶液供给部将蒸镀溶液连续地提供给蒸镀材料供给传输带30，副釜20内的溶剂连续地挥发、分离，蒸镀材料供给传输带30上仅残留蒸镀溶液中的蒸镀材料。[0112]蒸镀材料供给传输带30上残留的蒸镀材料，随着蒸镀材料供给传输带30的移动被输送到蒸镀爸10。蒸镀材料被加热部33加热汽化，汽化所形成的蒸镀材料的蒸汽喷向基板I并在基板I上沉积，形成蒸镀材料的膜。这就是所谓快速蒸镀成膜法，即蒸镀材料每一次触到加热部便汽化，喷到基板I上并沉积，形成蒸镀材料的膜。通过进行调节蒸镀材料供给传输带30的移动速度和蒸镀溶液的供给速度，使副釜20内的溶剂完全分离，在蒸镀材料供给传输带30上只留下蒸镀材料。对应蒸镀溶液的溶剂种类、黏度或者是蒸镀溶液的供给量等等，蒸镀材料供给传输带30的移动速度可以调节到合适的速度值，例如在O. 2 3. 5mm/s左右的范围。还有，蒸镀材料供给传输带30在从蒸镀釜10返回到副釜20时，为了避免蒸镀材·料在副釜中汽化，可以把它设计成水冷结构。还有，也可以把在副釜20中的第一转动驱动部31设计成水冷结构。「构成蒸镀溶液的蒸镀材料」为达到防污膜的特性，可以合适地选择蒸镀材料。例如作为形成防污膜的蒸镀材料可以使用氟碳化合物和硅橡胶树脂等等，例如更好地，可以使用全氟硅烷类。还有，也可以使用防污膜用途之外的蒸镀材料。还有，专利文献3公开的有机硅烷化合物得到广泛地应用。例如下面分子式(I)表示的是带有全氟烷基的硅烷化合物。分子式ICnF2n+1 — (CH2)m- Si (R1R2R3) ... (I)分子式(I)中，R1是带有I 3个碳原子的烷氧基，或者是CnF2n+1 — (CH2)m- Si(R2R3) — O —，R2、R3是带有I 3个碳原子的烷基或烷氧基、η为I 12、m为I 6。作为分子式(I)的化合物，例如为三乙氧基(3，3，4，4，5，5，6，6，7，7，7 — i^一烷氟庚基)硅烷；三乙氧基(3，3，4，4，5，5，6，6，7，7，8，8，8 —十三烷氟辛基)硅烷；三乙氧基(3，3，4，4，5，5，6，6，7，7，8，8，9，9，10，10，10 —十七烷氟癸基)硅烷；二乙氧基甲基(3，3，4，4，5，5，6，6，7，7，8，8，9，9，10，10，10 —十七烷氟癸基)硅烷；二 [乙氧(3，3，4，4，5，5，6，6，7，7,8,8,8 一十三烷氟辛基]硅基醚等化合物。「构成蒸镀溶液的溶剂」作为构成蒸镀溶液的溶剂，是把前面描述的蒸镀材料溶解的物质，只要具有与蒸镀材料相比在较低的温度和较低的真空度至少其中之一的条件下挥发的特性即可，没有特别的限制。例如比全氟碳氢化合物等的蒸镀材料在低温和低真空至少其中之一的条件下容易挥发的溶剂可以更好地使用。例如，更好地，使用含有20%碳氟化合物的蒸镀溶液和含有80%全氟乙烷作为溶剂的「OptooI DSX(商品名，大金工业株式会社制)」。例如当蒸镀溶液的供给量为10 μ I / S，副釜20的背压为I X KT1Pa,蒸镀材料供给传输带30的移动速率为O. 2 3. 5mm/s时,在副爸20内全氟乙烧完全被分离,在蒸镀釜10内就可实现只蒸镀碳氟化合物。[0132]「真空蒸镀方法」接下来，在本实施例中，对使用蒸镀材料形成有机膜的真空蒸镀方法进行说明。例如针对上述本实施例使用的真空蒸镀装置进行说明。首先，例如将蒸镀釜10和副釜20抽真空达到设定的压力。例如，将加热部33加热到设定的温度，并驱动第一转动驱动部31和第二转动驱动部32进行转动，使蒸镀材料供给传输带30从蒸镀釜10移到副釜20。例如通过基板夹具(未图示)在蒸镀釜10内以连续式运送基板。其次，例如通过蒸镀溶液供给部(未图示)，向副釜20中的蒸镀材料供给传输带30上提供来自供给管34中的蒸镀材料溶于溶剂形成的蒸镀溶液。·在本实施例中，把来自于副釜20中蒸镀溶液供给部供给的蒸镀溶液中的蒸镀材料留在蒸镀材料供给传输带30上，使溶剂连续地挥发而分离。如上所述的蒸镀溶液供给部即使连续地向蒸镀材料供给传输带30供给蒸镀溶液，也可以使副釜20内的溶剂连续地挥发而分离，在蒸镀材料供给传输带30上仅留下蒸镀溶液中的蒸镀材料。接下来，在蒸镀材料供给传输带30上留下来的蒸镀材料随着蒸镀材料供给传输带30的移动被输送到蒸镀釜10，蒸镀材料被加热部33加热汽化。汽化得到的蒸镀材料的蒸汽被喷在基板I上并在基板I上沉积，形成蒸镀材料的膜。根据本实施例的成膜装置，即使是以连续式使用液态的蒸镀材料进行真空蒸镀的情况下，把来自副釜的蒸镀溶液供给部供给的蒸镀溶液中的蒸镀材料留在蒸镀材料供给传输带上、使溶剂挥发而分离后，被蒸镀釜中的加热部加热汽化，使得到的蒸镀材料的蒸汽喷在基板上并在基板上沉积，形成蒸镀材料的膜。该成膜装置可以防止由此形成的蒸镀材料膜的膜质劣化。例如，形成防污膜的时候，可以实现高品质的耐久性和耐摩擦性能的防污膜。通过采用传输带进行蒸镀材料的供给，至少可以设定不同的两个以上部位的压力和温度中的任意一项，通过这样的手段，达到从蒸镀溶液中连续地分离溶剂的功能。关于在本实施例中的成膜装置和成膜方法，为了有效地蒸发蒸镀材料，要把蒸镀材料均匀地分布放在蒸镀材料供给传输带上。例如在副釜中从蒸镀溶液中的溶剂分离到在蒸镀釜中蒸镀材料蒸发之间，因为在蒸镀材料供给传输带的表面设置了小缝隙，可以让蒸镀材料均匀。例如，蒸镀材料供给传输带的宽是30mm时，上面讲的小缝隙的尺寸比如与蒸镀材料传输带的间隙做成O. 2mm、宽28mm0还有，在本实施例的成膜装置和成膜方法中，当成膜装置长期使用，未蒸发的蒸镀材料会在蒸镀材料供给传输带、各个小缝隙等处堆积，妨碍正常地工作，影响到膜的质量。例如，通过在蒸镀材料供给传输带的表面保持适当的间隙安装刮板，可以除去上述的多余的蒸镀材料。刮板被设置在从蒸发釜到蒸镀材料供给管之间。具体地讲，例如通过在蒸镀釜内沿蒸镀材料供给传输带的表面设置刮板，可以适当地除去上述的多余的蒸镀材料。<变形例>上述的本实施例的成膜装置，副釜、蒸镀材料供给传输带、蒸镀溶液供给部以及加热部集成为一个整体。因为集成为一个整体，所以便于在成膜装置上的安装、调试或是更换等等的处理。实施例2图2是本实用新型中实施例2的成膜装置的结构示意图。在本实施例中，与第I实施例结构相同，基板被设置在加热部33的垂直下方。另外，在本实施例中，第一转动驱动部31和第二转动驱动部32被设置成沿水平方向分开，蒸镀材料供给传输带30沿水平方向运转。还有，在蒸镀材料供给传输带30经过第一转动驱动部31之后的位置上供给蒸镀 溶液。除此之外，其他结构与第I实施例的构成相同。根据本实施例的成膜装置，即使是以连续式使用液态的蒸镀材料进行真空蒸镀的情况下，把来自副釜的蒸镀溶液供给部供给的蒸镀溶液中的蒸镀材料留在蒸镀材料供给传输带上、使溶剂挥发而分离后，被蒸镀釜中的加热部加热汽化，使得到的蒸镀材料的蒸汽喷在基板上并在基板上沉积，形成蒸镀材料的膜。该成膜装置可以防止由此形成的蒸镀材料膜的膜质劣化。实施例3图3是关于本实用新型成膜装置实施例3的结构示意图。在本实施例中，与第I实施例不同的是，基板被设置在加热部33的垂直上方。另外，在本实施例中，第一转动驱动部31和第二转动驱动部32被设置成沿垂直方向分开，蒸镀材料供给传输带30沿垂直方向移动。还有，在蒸镀材料供给传输带30经过第一转动驱动部31之后的位置上供给蒸镀溶液。除此之外，其他结构与第I实施例的构成相同。根据本实施例的成膜装置，即使是以连续式使用液态的蒸镀材料进行真空蒸镀的情况下，把来自副釜的蒸镀溶液供给部供给的蒸镀溶液中的蒸镀材料留在蒸镀材料供给传输带上、使溶剂挥发而分离后，被蒸镀釜中的加热部加热汽化，使得到的蒸镀材料的蒸汽喷在基板上并在基板上沉积，形成蒸镀材料的膜。该成膜装置可以防止由此形成的蒸镀材料膜的膜质劣化。实施例4图4是关于本实用新型成膜装置实施例4的结构示意图。在本实施例中，与实施例3相同的是，基板被设置在加热部33的垂直上方。另外，在本实施例中，第一转动驱动部31和第二转动驱动部32被设置为沿水平方向分开，蒸镀材料供给传输带30沿水平方向移动。还有，在蒸镀材料供给传输带30经过第一转动驱动部31之后的位置上供给蒸镀溶液。除此之外，其他结构与实施例I的构成相同。根据本实施例的成膜装置，即使是以连续式使用液态的蒸镀材料进行真空蒸镀的情况下，把来自副釜的蒸镀溶液供给部供给的蒸镀溶液中的蒸镀材料留在蒸镀材料供给传输带上、使溶剂挥发而分离后，被蒸镀釜中的加热部加热汽化，使得到的蒸镀材料的蒸汽喷在基板上并在基板上沉积，形成蒸镀材料的膜。该成膜装置可以防止由此形成的蒸镀材料膜的膜质劣化。实施例5图5是关于本实用新型成膜装置实施例5的结构示意图。在本实施例中，与实施例I不相同，基板I与加热部33的侧面相对而设。还有，其结构是基板I从图5的前端到里侧(或是从里侧到前端)被移动。另外，在本实施例中，第一转动驱动部31和第二转动驱动部32被设置为沿水平方 向分开，蒸镀材料供给传输带30在水平方向移动。还有，在蒸镀材料供给传输带30经过第一转动驱动部31之后的位置上供给蒸镀溶液。还有，在本实施例，使用了分配器33S作为加热部。在分配器33S上多处预设置了开口部，被分配器33S加热的蒸镀材料汽化后把得到的蒸镀材料的汽体从多处的开口部喷向基板，可以在基板上大范围地形成蒸镀材料的膜。除此之外，其它结构与实施例I的构成相同。根据本实施例的成膜装置，即使是以连续式使用液态的蒸镀材料进行真空蒸镀的情况下，把来自副釜的蒸镀溶液供给部供给的蒸镀溶液中的蒸镀材料留在蒸镀材料供给传输带上、使溶剂挥发而分离后，被蒸镀釜中的加热部加热汽化，使得到的蒸镀材料的蒸汽喷在基板上并在基板上沉积，形成蒸镀材料的膜。该成膜装置可以防止由此形成的蒸镀材料膜的膜质劣化。在本实施例中，虽然使用了分配器33S作为加热部，但是也可以使用和实施例I到实施例4相同的加热部件。另外，在实施例I 实施例4中作为成膜装置的加热部件也可以使用本实施例中描述的分配器。实施例6图6 图10是本实用新型成膜装置实施例6的结构示意图。图6 图10中的每个成膜装置，分别对应实施例I到实施例5的成膜装置，不同的是副釜由档板分割出多个腔室的结构。即，在本实施例中，用档板分隔出第一腔室20S和第二腔室22。第一腔室20S和实施例I到实施例5中副釜20的结构相同。第二腔室22通过排气管与真空泵23连接，其内部的压力可以降到规定的压力值。通过真空蒸镀在成膜时第二腔室22内的背压是，例如介于大气压和蒸镀釜20的背压之间。第一腔室20S和第二腔室22用第一档板41隔开，第二腔室22和蒸镀釜10用第二档板42隔开。例如真空度可以设定为按第一腔室20S、第二腔室22、蒸镀釜10的顺序逐渐升闻。除此之外，其它结构与第I实施例的构成相同。蒸镀材料供给传输带30贯通第一档板41、第二档板42，为了保持第一腔室20S、第2腔室22、及蒸镀釜10之间的压力差，贯通部分与蒸镀材料供给传输带之间的缝隙尽可能地保持越小越好。根据本实施例的成膜装置，即使是以连续式使用液态的蒸镀材料进行真空蒸镀的情况下，把来自副釜的蒸镀溶液供给部供给的蒸镀溶液中的蒸镀材料留在蒸镀材料供给传输带上、使溶剂挥发而分离后，被蒸镀釜中的加热部加热汽化，使得到的蒸镀材料的蒸汽喷在基板上并在基板上沉积，形成蒸镀材料的膜。该成膜装置可以防止由此形成的蒸镀材料膜的膜质劣化。通过采用传输带进行蒸镀材料的供给，至少可以有3个点以上在压力和温度的其中一项上进行不同的设定，通过这样的手段，达到从蒸镀材料溶液中把溶剂连续地分离的功能。实施例7图11 图15是本实用新型成膜装置实施例I的结构示意图。·[0198]图11 图15中的每个成膜装置，分别对应实施例I到实施例5的成膜装置，不同的是副釜是由档板分割出3个以上腔室所构成。即在本实施例中有用档板分隔出第一腔室20S、第二腔室24及第三腔室26。在本实施例中副釜是由3个腔室所构成，不过也可以由3个以上的腔室所构成。第一腔室20S的结构和实施例I到实施例5的副釜20的结构相同。第二腔室24通过排气管与真空泵25连接，其内部的压力可以降到规定的压力值。通过真空蒸镀在成膜时第二副釜24内的背压是，例如介于大气压和蒸镀釜20的背压之间。第三腔室26通过排气管连接着真空泵27，其内部的压力可以降到规定的压力值。通过真空蒸镀在成膜时第三副釜26内的背压是例如介于大气压和蒸镀釜20的背压之间。第一腔室20S和第二腔室24用第一档板43隔开，第二腔室24和第三腔室26用第二档板44隔开，第三腔室26和和蒸镀釜10用第三档板45隔开。例如，真空度可以设定为按第一腔室20S、第二腔室24、第三腔室26、蒸着釜10的顺序逐渐升高。除此之外，其它结构与实施例I的构成相同。蒸镀材料供给传输带30贯通第一档板43、第二档板44及第3档板35，为了保持第一腔室20S、第二腔室24、第三腔室26及蒸镀釜10之间的压力差，贯通部分与蒸镀材料供给传输带之间的缝隙尽可能地保持越小越好。根据本实施例的成膜装置，即使是以连续式使用液态的蒸镀材料进行真空蒸镀的情况下，把来自副釜的蒸镀溶液供给部供给的蒸镀溶液中的蒸镀材料留在蒸镀材料供给传输带上、使溶剂挥发而分离后，被蒸镀釜中的加热部加热汽化，使得到的蒸镀材料的蒸汽喷在基板上并在基板上沉积，形成蒸镀材料的膜。该成膜装置可以防止由此形成的蒸镀材料膜的膜质劣化。通过采用蒸镀材料供给传输带供给蒸镀材料，至少可以设定四个以上不同点的压力或温度值，通过这样的手段，实现从蒸镀材料溶液中连续地分离溶剂。必要时，也可以进一步增加构成腔室的个数。在上述的实施例6和实施例7中，副釜由多个腔室所构成。在上述的结构中，把第一腔室的背压提高，第一腔室内的溶剂不进行分离，到第二腔室之后再慢慢地将溶剂分离，这样的结构也可以。还有，根据蒸镀材料供给的速度和副釜内腔室的个数以及规定的背压，可以在到达蒸镀釜之前的副釜内实现压力梯度。把材料导入副釜时，副釜的背压如果没有被适当地设定，溶剂一下子全部挥发，会使蒸镀材料一同飞溅出来。如上述所述设定压力梯度，在第一腔室内溶剂不被分离，到第二腔室之后再慢慢地进行溶剂分离，通过这样的结构可以控制飞溅现象的发生。例如在第一腔室导入Ar等气体，通过结合材料供给口进行设计可以得到适当的压力梯度。另外，也可以使用罩子、网、线等，来防止蒸镀材料的飞溅。实施例8 图16是本实用新型成膜装置实施例8的结构示意图。蒸镀材料的蒸汽出汽口为多个且呈并列结构。即对于一个蒸镀釜10，用档板40A隔开，由通过排气管与真空泵21A连接的副釜20A、蒸镀材料供给传输带30A、被连接在蒸镀溶液供给部的供给管34A以及加热部33A构成第一单元A ;用档板40B隔开，由通过排气管与真空泵21B连接的副釜20B、蒸镀材料供给传输带30B、被连接在蒸镀溶液供给部的供给管34B以及加热部33B构成第二单元B ;用档板40C隔开，由通过排气管与真空泵21C连接的副釜20C、蒸镀材料供给传输带30C、被连接在蒸镀溶液供给部的供给管34C以及加热部33C构成的第三单元C，以上3个单元构成并列结构。因为蒸镀材料的蒸汽出汽口为多个且呈并列结构，所以即使对于宽度大的基板也可以进行蒸镀。即使是在本实施例中，每个副釜也可以用档板隔成多个腔室的结构。具体地讲，每个副釜也可以用档板隔成具有3个以上腔室的结构。还有，作为加热部，可以使用在第5实施例中描述的分配器。本实用新型不仅限于以上的说明。例如，作为蒸镀材料，在防污膜之外，也可以使用防污膜以外用途的蒸镀材料。蒸镀材料在溶剂中溶解或者被分散并被保存时，把溶剂或是分散剂除去之后，进行蒸镀也可以。另外，在不超出本实用新型要点的范围内，可以有各种变动。
权利要求1.一种成膜装置，其特征在于，具有 蒸镀釜及设置在蒸镀釜内的加热部，在所述的蒸镀釜内与所述的加热部的蒸汽出汽口相对的是基板，及夹持和移动所述的基板的基板夹具； 用档板与所述蒸镀釜分隔的副釜； 蒸镀溶液供给部，该蒸镀溶液供给部的供给管直通所述的副釜内； 贯通所述挡板从所述副釜至所述蒸镀釜内的加热部设置传送蒸镀材料的传输带； 所述蒸镀溶液供给部通过供给管向所述的副釜内将蒸镀材料溶解在溶剂中的蒸镀溶液连续不断地提供给所述传输带上，该蒸镀溶液在所述传输带的传送过程中，所述蒸镀溶液的溶剂在副釜中挥发而分离，仅蒸镀材料留在传输带上进入所述的加热部，该加热部对所述的蒸镀材料加热汽化后的蒸汽从所述的蒸汽出汽口喷射在所述的基板上沉积，形成所述蒸镀材料的膜。
2.根据权利要求I所述的成膜装置，其特征在于，所述的蒸镀釜具有抽真空的真空泵，所述的副釜具有抽真空的真空泵。
3.根据权利要求I所述的成膜装置，其特征在于，所述的传输带呈环状，该传输带具有驱动部，传输带由驱动部驱动，使所述传输带从所述副釜向所述蒸镀釜再回到所述副釜的连续循环运动。
4.根据权利要求I所述的成膜装置，其特征在于，所述的蒸镀溶液供给部由针眼阀、喷出调解器或螺杆泵构成。
5.根据权利要求I至4任一项所述的成膜装置，其特征在于，所述基板夹具有驱动机构，该驱动机构根据镀膜需要在成膜过程中按连续行进式连续地移动所述基板或间歇式移动所述基板。
6.根据权利要求I至5任一项所述的成膜装置，其特征在于，所述副釜由多块挡板隔成的多个串连的腔室构成，每个腔室各有一个抽真空的真空泵，以保持多个串连的腔室的背压依次降低。
7.根据权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，所述副釜由被挡板隔成的3个以上串连的腔室构成。
8.根据权利要求I至4任一项所述的成膜装置，其特征在于，所述副釜、传输带、蒸镀溶液供给部和加热部集成为一个单元。
9.根据权利要求7所述的成膜装置，其特征在于，包括多个所述的单元，该多个所述的单元的加热部的蒸汽出汽口在所述的基板的宽度方向并列设置。
专利摘要一种成膜装置，构成包括蒸镀釜及其内的加热部，在所述的蒸镀釜内与所述的加热部的蒸汽出汽口相对的是基板及其移动夹具；用档板与所述蒸镀釜分隔的副釜；蒸镀溶液供给部，该蒸镀溶液供给部的供给管直通所述的副釜内；贯通所述挡板从所述副釜至所述蒸镀釜内的加热部设置传送蒸镀材料的传输带；所述蒸镀溶液供给部向所述的副釜内将蒸镀溶液连续不断地提供给所述传输带上，所述的加热部对所述的蒸镀材料加热汽化后的蒸汽从所述的蒸汽出汽口喷射在所述的基板上沉积，形成所述蒸镀材料的膜。本实用新型的成膜装置的特点是连续地使用液态的蒸镀材料进行蒸发镀膜，并能有效地防止所形成膜的膜质劣化。
文档编号C23C14/24GK202755046SQ201220325310
公开日2013年2月27日 申请日期2012年7月6日 优先权日2011年8月11日
发明者岡田浩和, 岛田修一, 雀堂健洋, 范宾, 小林贵行 申请人:光驰科技(上海)有限公司