技术编号:3270849
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及研磨抛光装置,尤其是涉及一种带循环水冷装置的研磨抛光盘。背景技术在研磨抛光晶片等薄脆零件过程中,研磨抛光盘和工件的局部接触区域往往会出现高温,有时甚至可达几百度。局部的高温不但会烧伤零件的表面,形成加工变质层,而且会引起零件的局部变形,进而影响其面形精度。现有的研磨抛光机冷却液由冷却泵从冷却液箱中吸出,经塑料管送到机床前面冷却液控制旋钮,被分为两路,一路由塑料管从床身内腔进入摆轴中心孔穿轴而出,接在气缸压头的管接头上,通过压头球头内孔喷出,为...
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