专利名称：带循环水冷装置的研磨抛光盘的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及研磨抛光装置技术领域，尤其是涉及一种带循环水冷装置的研磨抛光盘。
背景技术：
在研磨抛光晶片等薄脆零件过程中，研磨抛光盘和工件的局部接触区域往往会出现高温，有时甚至可达几百度。局部的高温不但会烧伤零件的表面，形成加工变质层，而且会引起零件的局部变形，进而影响其面形精度。现有的研磨抛光机冷却液由冷却泵从冷却液箱中吸出，经塑料管送到机床前面冷却液控制旋钮，被分为两路，一路由塑料管从床身内腔进入摆轴中心孔穿轴而出，接在气缸压头的管接头上，通过压头球头内孔喷出，为上内喷；另一路由塑料管穿过上、下床身，主轴下端管接头，由主轴内孔及磨盘上的多个小孔同时喷出为下内孔。在游离磨料研磨抛光机上，这种上下内喷的冷却方式是无法应用的，因为持续喷出的冷却液同时会冲走游离态的研磨抛光磨料，使研磨抛光加工过程无法进行。因此，市场上精度比较高的游离磨料研磨抛光机一般都要求在配有空调系统的环境中使用，但是，空调系统只能保证外界的温度恒定，对研磨盘与工件接触面上的局部高温区却无能为力。
发明内容本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种对研磨抛光盘进行冷却时并不会冲走磨料、从而提高零件加工成品率和效率的带循环水冷装置的研磨抛光盘。按照本实用新型提供的技术方案，所述带循环水冷装置的研磨抛光盘，在机架面板内固定安装有轴套，在轴套内转动架设有主轴，在主轴内开设有进水管道安装孔，在主轴的上端部固定有下冷却盘，在下冷却盘上固定有上冷却盘，在上冷却盘上固定有研磨抛光盘，在下冷却盘的上端面开设有呈螺旋状设置的进水下槽与回水下槽，进水下槽与回水下槽呈间隔设置，进水下槽的末端部与回水下槽的首端部相接；在上冷却盘的下端面开设有呈螺旋状设置的进水上槽与回水上槽，进水上槽与回水上槽呈间隔设置，进水上槽的末端部与回水上槽的首端部相接，进水下槽与进水上槽配合形成完整的冷却进水孔，回水下槽与回水上槽配合形成完整的冷却回水孔。所述进水管道安装孔沿着主轴的轴向进行开设，且进水管道安装孔的上段为圆台形，进水管道安装孔的下段为圆柱形。所述进水下槽、回水下槽、进水上槽与回水上槽的截面形状均为直径相同的半圆形。本实用新型结构简单,其研磨抛光盘冷却回路不经过研磨盘表面，冷却液不会冲走研磨液，故不会影响游离研磨抛光加工过程，流经研磨抛光盘底的冷却液能及时带走研磨盘各区域积聚的热量，起到很好的冷却效果，从而提高零件加工成品率和效率。
图I是本实用新型的结构示意图。图2是本实用新型中上冷却盘的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。如图所示该带循环水冷装置的研磨抛光盘，在机架面板I内固定安装有轴套2，在轴套2内转动架设有主轴3，在主轴3内开设有进水管道安装孔11，在主轴3的上端部固定有下冷却盘4，在下冷却盘4上固定有上冷却盘5，在上冷却盘5上固定有研磨抛光盘6，在下冷却盘4的上端面开设有呈螺旋状设置的进水下槽7与回水下槽8，进水下槽7与回水下槽8呈间隔设置，进水下槽7的末端部与回水下槽8的首端部相接；在上冷却盘5的下端面开设有呈螺旋状设置的进水上槽9与回水上槽10，进水上槽9与回水上槽10呈间隔设置，进水上槽9的末端部与回水上槽10的首端部相接，进水下槽7与进水上槽9配合形成完整的冷却进水孔，回水下槽8与回水上槽10配合形成完整的冷却回水孔。所述进水管道安装孔11沿着主轴3的轴向进行开设，且进水管道安装孔11的上段为圆台形，进水管道安装孔11的下段为圆柱形。所述进水下槽7、回水下槽8、进水上槽9与回水上槽10的截面形状均为直径相同的半圆形。使用时，在主轴3的下端部固定有主轴链轮13，在进水管道安装孔11内安装进水管道12，进水管道12的出水端与冷却进水孔的首端部相接，冷却回水孔的末端部流出的水进入进水管道安装孔11内并排出。工作时，冷却水从进水管道12通入冷却进水孔的首端部，冷却水经冷却进水孔、冷却回水孔循环后将研磨抛光盘6加工时产生的大量热量吸收，并从冷却回水孔的末端部流出，经主轴3的进水管道安装孔11流出。
权利要求1.一种带循环水冷装置的研磨抛光盘，在机架面板(I)内固定安装有轴套(2)，在轴套(2 )内转动架设有主轴(3 )，在主轴(3 )内开设有进水管道安装孔(11)，在主轴(3 )的上端部固定有下冷却盘(4)，在下冷却盘(4)上固定有上冷却盘(5)，在上冷却盘(5)上固定有研磨抛光盘(6)，其特征是在下冷却盘(4)的上端面开设有呈螺旋状设置的进水下槽(7)与回水下槽(8)，进水下槽(7)与回水下槽(8)呈间隔设置，进水下槽(7)的末端部与回水下槽(8)的首端部相接；在上冷却盘(5)的下端面开设有呈螺旋状设置的进水上槽(9)与回水上槽(10)，进水上槽(9)与回水上槽(10)呈间隔设置，进水上槽(9)的末端部与回水上槽(10)的首端部相接，进水下槽(7)与进水上槽(9)配合形成完整的冷却进水孔，回水下槽(8)与回水上槽(10)配合形成完整的冷却回水孔。
2.如权利要求I所述的带循环水冷装置的研磨抛光盘，其特征是所述进水管道安装孔(11)沿着主轴(3 )的轴向进行开设，且进水管道安装孔(11)的上段为圆台形，进水管道安装孔(11)的下段为圆柱形。
3.如权利要求I所述的带循环水冷装置的研磨抛光盘，其特征是所述进水下槽(7)、回水下槽(8)、进水上槽(9)与回水上槽(10)的截面形状均为直径相同的半圆形。
专利摘要本实用新型涉及一种带循环水冷装置的研磨抛光盘，在机架面板内固定安装有轴套，在轴套内转动架设有主轴，在主轴内开设有进水管道安装孔，在主轴的上端部固定有下冷却盘，在下冷却盘上固定有上冷却盘，在上冷却盘上固定有研磨抛光盘，在下冷却盘的上端面开设有呈螺旋状设置的进水下槽与回水下槽；在上冷却盘的下端面开设有呈螺旋状设置的进水上槽与回水上槽，进水上槽与回水上槽呈间隔设置。本实用新型结构简单，其研磨抛光盘冷却回路不经过研磨盘表面，冷却液不会冲走研磨液，可以起到很好的冷却效果，从而提高零件加工成品率和效率。
文档编号B24B55/02GK202726714SQ20122032744
公开日2013年2月13日 申请日期2012年7月6日 优先权日2012年7月6日
发明者方建东, 黄小卫, 杨宁, 孙晓晓 申请人:元亮科技有限公司