技术编号:3273326
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。多角石墨舟卡钉[0001]本实用新型涉及一种太阳电池生产的过程中使用的石墨舟。背景技术[0002]太阳能电池生产工艺流程中,PECVD工艺过程形成减反射膜,膜的作用是既能降低对太阳光的反射,又能对电池有很好的钝化效果。此工艺过程需要高的洁净度和长时间的高温等离子体反应过程,膜直接沉积在硅片表面,卡钉的覆盖面积越大,对膜的质量影响越大。长时间的等离子过程,对卡钉的表面也有腐蚀,从而影响硅片的固定。[0003]传统的PECVD用石墨舟卡钉采用的是圆形的或菱形(...
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