多角石墨舟卡钉的制作方法

文档序号:3273326阅读:191来源:国知局
专利名称:多角石墨舟卡钉的制作方法
技术领域
多角石墨舟卡钉技术领域[0001]本实用新型涉及一种太阳电池生产的过程中使用的石墨舟。
背景技术
[0002]太阳能电池生产工艺流程中,PECVD工艺过程形成减反射膜,膜的作用是既能降低对太阳光的反射,又能对电池有很好的钝化效果。此工艺过程需要高的洁净度和长时间的高温等离子体反应过程,膜直接沉积在硅片表面,卡钉的覆盖面积越大,对膜的质量影响越大。长时间的等离子过程,对卡钉的表面也有腐蚀,从而影响硅片的固定。[0003]传统的PECVD用石墨舟卡钉采用的是圆形的或菱形(有两个角为钝角)的设计,要么对膜的覆盖面积过大,要么使用寿命较短。发明内容[0004]本实用新型的目的在于提供一种结构合理,可以减小卡钉对膜的覆盖尺寸、延长卡钉使用寿命的多角石墨舟卡钉。[0005]本实用新型的技术解决方案是[0006]一种多角石墨舟卡钉,其特征是包括圆形本体,圆形本体的两侧设置多角形卡钉件,且所述多角形卡钉件的每个角均为锐角,圆形本体为可旋转形式。[0007]相邻两个锐角的连接段为弧形段。[0008]本实用新型结构合理,既可以减小卡钉对膜的覆盖尺寸,提高膜的质量,又可以延长卡钉的使用寿命。


[0009]
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。[0010]图1是本实用新型实施例1的结构示意图。[0011]图2是图1的侧面视图。[0012]图3是实施例2的结构示意图。[0013]图4是图3的侧面视图。[0014]图5是实施例3的结构示意图。[0015]图6是图5的侧面视图。[0016]图7是实施例4的结构示意图。[0017]图8是图7的侧面视图。
具体实施方式
[0018]实施例1 :[0019]一种多角石墨舟卡钉,包括圆形本1,圆形本体的两侧设置三角形卡钉件2、3,且所述三角形卡钉件的每个角均为锐角,圆形本体为可旋转形式。[0020]实施例2 [0021]卡钉件为四角形,相邻两个锐角的连接段为弧形段。其余同实施例1。[0022]实施例3 [0023]卡钉件为五角形。其余同 实施例2。[0024]实施例4 [0025]卡钉件为六角形。其余同实施例2。
权利要求1.一种多角石墨舟卡钉,其特征是包括圆形本体,圆形本体的两侧设置多角形卡钉件,且所述多角形卡钉件的每个角均为锐角,圆形本体为可旋转形式。
2.根据权利要求1所述的多角石墨舟卡钉,其特征是相邻两个锐角的连接段为弧形段。
专利摘要本实用新型公开了一种多角石墨舟卡钉,包括圆形本体,圆形本体的两侧设置多角形卡钉件,且所述多角形卡钉件的每个角均为锐角,圆形本体为可旋转形式。本实用新型结构合理,既可以减小卡钉对膜的覆盖尺寸,提高膜的质量,又可以延长卡钉的使用寿命。
文档编号C23C16/458GK202849542SQ20122044814
公开日2013年4月3日 申请日期2012年9月5日 优先权日2012年9月5日
发明者赵福祥, 林佳继, 赵同荣, 崔美丽 申请人:韩华新能源(启东)有限公司
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