技术编号:3275939
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种管道设备,尤其是涉及一种气体管路装置。背景技术目前,Roth&RauSINA2机台的第五根气路使用的是三段式气路来进行特气供给,以确保PM腔的正常工艺生产。该气路主要有以下缺陷1、两边的支管气路太短(只有3个气孔),中间主气路太长,导致支管气路喷出的特气无到达石墨框两边的硅片上,无达到调节硅片膜厚/折射率片间均匀性的效果。2、气路两端封口的螺丝都为内六角型,其内六角口经常会有氮化硅集结而堵住,导致拆卸困难甚至会损坏该管路。实用新型...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。