专利名称：一种气体管路装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种管道设备，尤其是涉及一种气体管路装置。
背景技术：
目前，Roth&RauSINA2机台的第五根气路使用的是三段式气路来进行特气供给，以确保PM腔的正常工艺生产。该气路主要有以下缺陷1、两边的支管气路太短(只有3个气孔)，中间主气路太长，导致支管气路喷出的特气无到达石墨框两边的硅片上，无达到调节硅片膜厚/折射率片间均匀性的效果。2、气路两端封口的螺丝都为内六角型，其内六角口经常会有氮化硅集结而堵住，导致拆卸困难甚至会损坏该管路。
实用新型内容本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种有效调节气量、均匀性较好且拆卸方便的气体管路装置。本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现一种气体管路装置，安装于SINA2PM腔，提供生产工艺所需特气，并能有效调节片间膜厚/折射率的均匀性，该气体管路装置为三段式结构，由主气路及两个支管气路构成，所述的支管气路对称连接在主气路的两端，支管气路的端部通过封口螺丝封端。所述的主气路由水平管道及水平管道侧部连接的类似于Y型结构的支路构成。
所述的水平管道的长度为580mm，管道上开设有12个气孔，减少4个气孔，从而减少其对两边硅片工艺的影响。所述的支路的端部连接有气路接头。所述的支管气路由水平管道及水平管道侧部连接的L型结构的支路构成。所述的水平管道的长度为240mm，管道上开设有5个气孔，多增加2个气孔，从而能增强两边气体的流出，达到调节片间均匀性的目的。所述的支路的端部连接有气路接头。所述的封口螺丝为外六角螺丝，便于在手动对管路进行吹扫时，便于拆卸而不损坏到管路，从而延长管路使用寿命。与现有技术相比，本实用新型具有以下优点一、提高机台所产硅片膜厚/折射率的片间均匀性性支管气路增加了气孔，加强了对石墨框两边硅片的工艺影响，达到有效调节气量及均匀性的目的。二、便于拆卸，延长气路使用寿命封口螺丝采用外六角设计，易于用对应的开口扳手拆卸而不损伤管路。
图1为本实用新型的结构示意图。图中，I为主气路、2为封口螺丝、3为支管气路、4为气路接头、5为气孔。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。实施例一种气体管路装置，安装于SINA2 PM腔，提供生产工艺所需特气，并能有效调节片间膜厚/折射率的均匀性，该气体管路装置的结构如图1所示，为三段式结构，由主气路I及两个支管气路3构成，支管气路3对称连接在主气路I的两端，支管气路3的端部通过封口螺丝2封端。 其中，主气路I由水平管道及水平管道侧部连接的类似于Y型结构的支路构成。所述的水平管道的长度减少至580mm，管道上开设有12个气孔，由于减少4个气孔，从而减少其对两边硅片工艺的影响，支路的端部连接有气路接头4。支管气路3由水平管道及水平管道侧部连接的L型结构的支路构成。水平管道的长度增加至240mm，管道上开设有5个气孔，由于多增加2个气孔，从而增强两边气体的流出，达到调节片间均匀性的目的，支路的端部连接有气路接头4。使用的封口螺丝2为外六角螺丝，便于在手动对管路进行吹扫时，便于拆卸而不损坏到管路，从而 延长管路使用寿命。
权利要求1.一种气体管路装置，其特征在于，该气体管路装置为三段式结构，由主气路及两个支管气路构成，所述的支管气路对称连接在主气路的两端，支管气路的端部通过封口螺丝封端。
2.根据权利要求1所述的一种气体管路装置，其特征在于，所述的主气路由水平管道及水平管道侧部连接的类似于Y型结构的支路构成。
3.根据权利要求2所述的一种气体管路装置，其特征在于，所述的水平管道的长度为580mm，管道上开设有12个气孔。
4.根据权利要求2所述的一种气体管路装置，其特征在于，所述的支路的端部连接有气路接头。
5.根据权利要求1所述的一种气体管路装置，其特征在于，所述的支管气路由水平管道及水平管道侧部连接的L型结构的支路构成。
6.根据权利要求5所述的一种气体管路装置，其特征在于，所述的水平管道的长度为240mm,管道上开设有5个气孔。
7.根据权利要求5所述的一种气体管路装置，其特征在于，所述的支路的端部连接有气路接头。
8.根据权利要求1所述的一种气体管路装置，其特征在于，所述的封口螺丝为外六角螺丝。
专利摘要本实用新型涉及一种气体管路装置，该气体管路装置为三段式结构，由主气路及两个支管气路构成，支管气路对称连接在主气路的两端，支管气路的端部通过封口螺丝封端。与现有技术相比，本实用新型提高机台所产硅片膜厚/折射率的片间均匀性性支管气路增加了气孔，加强了对石墨框两边硅片的工艺影响，达到有效调节气量及均匀性的目的，另外还便于拆卸，延长气路使用寿命封口螺丝采用外六角设计，易于用对应的开口扳手拆卸而不损伤管路。
文档编号C23C16/455GK202898535SQ20122058780
公开日2013年4月24日 申请日期2012年11月8日 优先权日2012年11月8日
发明者陈平, 鲁一能, 何海涛, 黄良吉 申请人:上海神舟新能源发展有限公司