一种新型抽气管路的制作方法
【专利说明】
[0001]技术领域:本实用新型涉及一种抽气管路，尤其是一种对等离子增强化学气相沉积腔体进行抽气的新型管路。
[0002]【背景技术】:目前对PECVD (等离子增强化学气相沉积)腔体进行抽真空的管路都是IS0100管路，是一种两端焊接法兰，整体固定式的抽气管路，在焊接法兰时产生的加工误差对装配是有影响的，有可能造成漏气。
[0003]【实用新型内容】:针对上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种新型抽气管路。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种新型抽气管路，包括管体，凸台和可旋转法兰盘组成。凸台设置在管体的两端与管体为一体结构，可旋转法兰盘设置在凸台的外圈。
[0005]本实用新型在保证功能的前提下，减小了加工的难度，也更利于跟PECVD腔体进行装配。
【附图说明】
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[0006]图1是本实用新型的结构示意图。
[0007]图2是本实用新型的剖视图。
【具体实施方式】
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[0008]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0009]如图1和图2所示:一种新型抽气管路，包括管体3，凸台2和可旋转法兰盘I组成。凸台2设置在管体3的两端与管体3为一体结构，可旋转法兰盘I设置在凸台2的外圈。
【主权项】
1.一种新型抽气管路，其特征在于:包括管体，凸台和可旋转法兰盘组成；凸台设置在管体的两端与管体为一体结构，可旋转法兰盘设置在凸台的外圈。
【专利摘要】一种新型抽气管路，包括管体，凸台和可旋转法兰盘组成。凸台设置在管体的两端与管体为一体结构，可旋转法兰盘设置在凸台的外圈。本实用新型在保证功能的前提下，减小了加工的难度，也更利于跟PECVD腔体进行装配。
【IPC分类】F16L23/028, F16L43/00, F16L41/02
【公开号】CN204922337
【申请号】CN201520317367
【发明人】郑佳彤
【申请人】沈阳拓荆科技有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年5月18日