专利名称：气体管路恒温装置的制作方法
技术领域：
本实用新型有关于ー种气体恒温装置，尤指ー种用于将气体充填于光罩储存盒的气体管路恒温装置。
背景技术：
半导体元件如晶圆或光罩等，其在集成电路制程中是关系整体合格率的重要元件。由于作业环境中存在不少的微粒、水气或化学溶剂分子等物质，当这些物质附着于半导体元件表面吋，则会降低半导体元件的合格率。一般半导体元件的保存或运送通常是存放在一密闭盒体中，以有效防止微尘粒子或水气等物质附着于半导体元件表面，因此大多必须放置在ー个高洁净度、气密性佳的载具内，如光罩储存盒(Mask Package)、光罩传送盒(Reticle SMIF Pod，RSP)，并将气体(如 氮气或压缩空气等)充填于载具内，借此储放载具内的半导体元件，同时维持高洁净度。然而，在将气体充填于载具内的过程中，由于输送气体的管路常因外部环境温度变化而产生温度差异，进而使充填在载具内的空气温度不一，更甚者，则可能导致半导体元件的材质在储放过程中发生变化，造成制程合格率上更多的问题。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型的目的在于提供ー种气体管路恒温装置，其提供恒定温度的气体以送入储放半导体元件的载具内，使半导体元件处在一定温度的载具中，进而维持制程的合格率；而且其温度控制器可控制加热器并设定所需的气体温度，以视实际需求来提供恒定温度的气体。为了达成上述目的，本实用新型提供ー种气体管路恒温装置，所述气体管路恒温装置包括一水槽，其装填有ー循环液体，且所述水槽设有一入水ロ、一出水ロ、一进气ロ及
一出气ロ ；一冷却管组，其包括连接所述出水ロ的一第一管路及连接所述入水ロ的一第二管路；ー气体管路，其设置在所述水槽内，所述气体管路一端连接所述进气ロ，而所述气体管路另一端连接所述出气ロ，且所述气体管路中流通有ー气体；一第一温度传感器，其设置在所述气体管路上；ー加热器，其设置在所述水槽内；以及一温度控制器，其电性连接所述第一温度传感器及加热器。较佳地，其中所述入水ロ及出水ロ设置在水槽的底部，所述进气ロ及出气ロ设置在水槽的侧边。较佳地，其中所述冷却管组及温度控制器设置在水槽的外部。较佳地，其中所述冷却管组更包括一水泵及ー冷却外管，所述水泵设置在第一管路与第二管路之间，所述冷却外管套绕在第一管路外。较佳地，其中所述冷却外管及第一管路分别为一双层管，所述冷却外管与第一管路之间維持有一流动空间，所述流动空间中流通有一低温液体。较佳地，其中所述冷却外管及第一管路呈螺旋状盘绕。较佳地，其中所述气体管路呈螺旋状地盘绕在水槽内。较佳地，其中所述第一温度传感器贴置在气体管路邻近所述出气ロ的外壁面。较佳地，其中所述第一温度传感器贴置在气体管路邻近所述进气ロ的外壁面。较佳地，其中所述气体管路恒温装置更包括一第二温度传感器，所述第二温度传感器设置在水槽的内壁面。相较于现有技术，本实用新型所提供的气体管路恒温装置在水槽中设置气体管路、第一温度传感器、第二温度传感器、加热器及温度控制器，另在水槽外部设置冷却管组，以对气体管路中的气体进行热交換，并通过第一及第ニ温度传感器来测量气体的温度，且通过温度控制器来控制加热器并设定所需的气体温度，以视实际需求来提供恒定温度的气体。
图1为本实用新型气体管路恒温装置的立体外观示意图；图2为本实用新型气体管路恒温装置的侧视图；图3为本实用新型气体管路恒温装置的俯视图；图4为本实用新型气体管路恒温装置的使用状态示意图。主要元件符号说明1-气体管路恒温装置；10_水槽；100-容置空间；101-入水ロ ；102_出水ロ ；103-进气ロ ；104_出气ロ ；2-箱体；20_冷却管组；21_第一管路；22_第二管路；23_水泵；24_冷却外管；240-流动空间；3-循环液体；30_气体管路；4-低温液体；40、40’ -第一温度传感器；40”_第二温度传感器；5-气体；50_加热器；60-温度控制器。
具体实施方式
为了能更进一歩掲示本实用新型的特征及技术内容，请參阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而附图仅提供參考与说明之用，并非用来对本实用新型加以限制。请參照图1至图3，分别为本实用新型气体管路恒温装置的立体外观示意图、侧视图及俯视图；本实用新型提供ー种气体管路恒温装置1，用以提供恒定温度的气体。气体管路恒温装置1包括一水槽10、设置在水槽10外部的一冷却管组20与一温度控制器60，及安置在水槽10内部的ー气体管路30、一第一温度传感器40与一加热器50 (请另參照图4)。在本实施例中，气体管路恒温装置1设置在一箱体2内，通过箱体2的移动以在预定处提供恒定温度的气体。[0036]请同时參照图4，为本实用新型气体管路恒温装置的使用状态示意图；水槽10具有一容置空间100，容置空间100用于装填ー循环液体3，且水槽10设有连通容置空间100的一入水口 101、一出水ロ 102、一进气ロ 103及一出气ロ 104。在本实施例中，循环液体3为纯水(但不以此为限制)，入水ロ 101及出水ロ 102设置在水槽10的底部，进气ロ 103及出气ロ 104则是设置在水槽10的侧边，但实际实施时并不以此为限。冷却管组20包括连接出水ロ 102的一第一管路21及连接入水ロ 101的一第二管路22。较佳地，冷却管组20更包括一水泵23及一冷却外管24，水泵23设置在第一管路21与第二管路22之间，以利用水泵23而将第二管路22中的水打入水槽10内。冷却外管24套绕在第一管路21タト，冷却外管24及第一管路21分别为一双层管，冷却外管24与第一管路21之间维持有一流动空间240，流动空间240中流通有一低温液体 4，低温液体4为ー冰水，该冰水的温度大约在0°C至17°C之间。在本实施例中，冷却外管24及第一管路21呈螺旋状盘绕，借此节省设置空间，并达到良好的热交换效率。气体管路30设置在水槽10内。气体管路30 —端连接进气ロ 103，而气体管路30另一端连接出气ロ 104，气体5在气体管路30中流通；在本实施例中，气体5为压缩的惰性气体(但不以此为限制)，气体管路30呈螺旋状地盘绕在水槽10的容置空间100内，以节省设置空间。再者，第一温度传感器40设置在气体管路30上；在本实施例中，第一温度传感器40贴置在气体管路30的外壁面，较佳地，第一温度传感器40贴置在气体管路30邻近出气ロ 104的外壁面，第一温度传感器40用以感测气体管路30内的气体5的温度；在实际实施吋，当气体5用于充填在储放光罩的光罩盒内时，气体管路恒温装置1所提供的气体5的温度大约为摄氏22度，其公差为正负0. 3 C，亦即，第一温度传感器40感测到气体管路30内的气体5的温度最佳约为22 C。值得ー提的是，第一温度传感器40的位置及数量并不以上述为限制，实际实施时，在气体管路30邻近进气ロ 103的外壁面亦可设置第一温度传感器40 ’，用以侦测进入气体管路30内的气体5的温度；此外，气体管路恒温装置1更可包括一第二温度传感器40”，第二温度传感器40”设置在水槽10的内壁面，用以侦测水槽10内的循环液体3的温度。加热器50设置在水槽10内。当气体管路30内的气体5温度过低吋，则启动加热器50来加热循环液体3，通过循环液体3与气体管路30内的气体5进行热交換，以提供恒定温度的气体5。温度控制器60电性连接第一温度传感器40及加热器50，其中，第一温度传感器40所感测到气体管路30内的气体5的温度值传送至温度控制器60，以通过温度控制器60来控制加热器50是否开启。本实用新型的气体管路恒温装置1使用时，循环液体3自水槽10流出至第一管路21中，并与冷却外管24的低温液体4进行热交換，待第一管路21中的循环液体3予以冷却后，再经由水泵23的加压而送入第二管路22中，最后再自第二管路22流入水槽10，并在水槽10中与气体管路30中的气体5进行热交換。值得ー提的是，气体管路恒温装置1是在运行一适当时间后而提供恒定温度的气体；此外，该恒定温度的设定可经由温度控制器60来控制，以视实际需求来提供恒定温度的气体。以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，并非用以限定本实用新型的专利保护范围，其它运用本实用新型专利精神所作的等效变化等，均应同理属于本实用新型的专利保护范围内。
权利要求1.一种气体管路恒温装置，其特征在于，所述气体管路恒温装置包括 一水槽，其装填有一循环液体，且所述水槽设有一入水口、一出水口、一进气口及一出气口 ； 一冷却管组，其包括连接所述出水口的一第一管路及连接所述入水口的一第二管路； 一气体管路，其设置在所述水槽内，所述气体管路一端连接所述进气口，而所述气体管路另一端连接所述出气口，且所述气体管路中流通有一气体； 一第一温度传感器，其设置在所述气体管路上； 一加热器，其设置在所述水槽内；以及 一温度控制器，其电性连接所述第一温度传感器及加热器。
2.如权利要求I所述的气体管路恒温装置，其特征在于，所述入水口及出水口设置在水槽的底部，所述进气口及出气口设置在水槽的侧边。
3.如权利要求I所述的气体管路恒温装置，其特征在于，所述冷却管组及温度控制器设置在水槽的外部。
4.如权利要求I所述的气体管路恒温装置，其特征在于，所述冷却管组更包括一水泵及一冷却外管，所述水泵设置在第一管路与第二管路之间，所述冷却外管套绕在第一管路外。
5.如权利要求4所述的气体管路恒温装置，其特征在于，所述冷却外管及第一管路分别为一双层管，所述冷却外管与第一管路之间维持有一流动空间，所述流动空间中流通有一低温液体。
6.如权利要求5所述的气体管路恒温装置，其特征在于，所述冷却外管及第一管路呈螺旋状盘绕。
7.如权利要求I所述的气体管路恒温装置，其特征在于，所述气体管路呈螺旋状地盘绕在水槽内。
8.如权利要求I所述的气体管路恒温装置，其特征在于，所述第一温度传感器贴置在气体管路邻近所述出气口的外壁面。
9.如权利要求I所述的气体管路恒温装置，其特征在于，所述第一温度传感器贴置在气体管路邻近所述进气口的外壁面。
10.如权利要求8或9所述的气体管路恒温装置，其特征在于，所述气体管路恒温装置更包括一第二温度传感器，所述第二温度传感器设置在水槽的内壁面。
专利摘要本实用新型涉及一种气体管路恒温装置，包括装填有循环液体的水槽、冷却管组、设置在水槽内的气体管路及加热器、设置在气体管路上的第一温度传感器、电性连接第一温度传感器及加热器的温度控制器。本实用新型所提供的气体管路恒温装置，其循环液体自水槽流出并予以冷却后再流入水槽，并与气体管路中的气体进行热交换，借此提供恒定温度的气体，以送入储放半导体元件的载具内而使半导体元件处在一定温度的载具中，进而维持制程的合格率。
文档编号G05D23/20GK202758256SQ201220322879
公开日2013年2月27日 申请日期2012年7月5日 优先权日2012年7月5日
发明者潘咏晋 申请人:家登精密工业股份有限公司