技术编号:3276179
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种抛光设备的抛光液供给控制装置,特别涉及透明导电玻璃基板的抛光设备的抛光液供给控制装置,以及对使用此抛光液供给控制装置的透明导电玻璃基板上透明导电膜的抛光过程抛光液流量供给的控制。背景技术在玻璃基板上形成的通明导电膜通常用作LCD、PDP、OLED等平板显示器的阳极。而通明导电膜中多使用透过率高、电阻低的材料,此类材料中,普遍采用的是氧化铟(In2O3)中添加了锡(Sn)的氧化铟锡(Indium Tin Oxide简称为ITO)。根据不同显...
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