技术编号:3276757
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及溅射镀膜设备阴极与溅射室之间的连接接口,特别是一种阴极安装过渡接口。背景技术在溅射镀膜设备中,阴极是一个必不可少的关键部件。阴极被装在溅射室内,溅射室内是真空环境。阴极与溅射室之间的连接,有一个叫做“阴极波纹管接口”的部件,阴极通过该部件与溅射室连在一起。如果简单地在溅射室门板上开一个小孔,直接将波纹管接口装在该小孔上,由于小孔过小,人手无法伸进去,操作起来很不方便。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种阴极安装过渡接口,它主要解决现有技术...
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