专利名称：阴极安装过渡接口的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及溅射镀膜设备阴极与溅射室之间的连接接口，特别是一种阴极安装过渡接口。
背景技术：
在溅射镀膜设备中，阴极是一个必不可少的关键部件。阴极被装在溅射室内，溅射室内是真空环境。阴极与溅射室之间的连接，有一个叫做“阴极波纹管接口”的部件，阴极通过该部件与溅射室连在一起。如果简单地在溅射室门板上开一个小孔，直接将波纹管接口装在该小孔上，由于小孔过小，人手无法伸进去，操作起来很不方便。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种阴极安装过渡接口，它主要解决现有技术中溅射室门板上开一个小孔，直接将波纹管接口装在该小孔上，由于小孔过小，人手无法伸进去，操作起来很不方便的技术问题，操作简单、方便。为实现上述目的，本实用新型是这样实现的。一种阴极安装过渡接口，它包括一端连接在阴极的阴极波纹管接口 ；其特征在于:在溅射室门板上开一个过渡孔，该阴极波纹管接口的另一端穿过过渡孔连接到一过渡板上，该过渡板再通过固定元件连接到溅射室门板上并覆盖过渡孔。所述的阴极安装过渡接口，其特征在于:该溅射室的前后门板均开设有过渡孔并配有过渡板。本实用新型的技术效果是:由于在溅射室门板上开一个较大的过渡孔，并有一个过渡板可以安装在该孔上，使阴极波纹管接口可先安装在过渡板上。且由于门板上的开孔较大，方便人手操作，该结构便于阴极波纹管接口的安装。
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
请参阅图1，本实用新型公开了一种阴极安装过渡接口。如图所示:它包括一端连接在阴极I的阴极波纹管接口 2。其特点是:在溅射室门板3上开一个过渡孔31，该阴极波纹管接口 2的另一端穿过过渡孔31连接到一过渡板4上，该过渡板4再通过固定元件连接到溅射室门板3上并覆盖过渡孔31。本实用新型中，可采用304不锈钢板作为过渡板，在溅射室前后门板上开较大的过渡孔，过渡孔的大小应确保人手能伸进去操作。安装时，人手通过溅射室门板3上的过渡孔31将阴极波纹管接口 2拉过来，预先装在过渡板4上，然后再将过渡板4装在溅射室的上溅射室门板3上并覆盖过渡孔31，这样安装起来很方便。作为一种优选方式，该溅射室的前后门板均开设有过渡孔31。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型的实施范围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化与修饰，都应为本实用新型的技术范畴。
权利要求1.一种阴极安装过渡接口，它包括一端连接在阴极(I)的阴极波纹管接口(2);其特征在于:在溅射室门板(3)上开一个过渡孔(31)，该阴极波纹管接口(2)的另一端穿过过渡孔(31)连接到一过渡板(4)上，该过渡板(4)再通过固定元件连接到溅射室门板(3)上并覆盖过渡孔(31)。
2.根据权利要求1所述的阴极安装过渡接口，其特征在于:该溅射室的前后门板均开设有过渡孔(31)和过渡板(4)。
专利摘要本实用新型涉及溅射镀膜设备阴极与溅射室之间的连接接口，特别是一种阴极安装过渡接口。它包括一端连接在阴极的阴极波纹管接口；其特征在于在溅射室门板上开一个过渡孔，该阴极波纹管接口的另一端穿过过渡孔连接到一过渡板上，该过渡板再通过固定元件连接到溅射室门板上并覆盖过渡孔。它主要解决现有技术中溅射室门板上开一个小孔，直接将波纹管接口装在该小孔上，由于小孔过小，人手无法伸进去，操作起来很不方便的技术问题，操作简单、方便。
文档编号C23C14/34GK203007393SQ20122063389
公开日2013年6月19日 申请日期2012年11月27日 优先权日2012年11月27日
发明者李银生 申请人:上海米开罗那机电技术有限公司, 北京米开罗那机电技术有限责任公司