技术编号：3277538
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是属于物理真空沉积镀膜，尤指一种物理真空沉积镀膜中对长带衬底起保温作用的保温装置。背景技术在物理真空沉积镀膜技术中，镀膜装置的沉积腔室配有加热系统，可移动的长带衬底由非加热区进入加热区，加热系统加热，但是由于长带衬底裸露在沉积腔室中，长带衬底升温较慢、温度不稳定、温区的均匀性差，导致移动中的长带衬底到达沉积区时温度未满足要求，引起镀膜时膜的均匀性差，以及加热系统能耗高等缺点。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种对长带衬底加热的保温装置，使长带...
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