专利名称：一种对长带衬底加热的保温装置的制作方法
技术领域：
本实用新型是属于物理真空沉积镀膜技术领域，尤指一种物理真空沉积镀膜中对长带衬底起保温作用的保温装置。
背景技术：
在物理真空沉积镀膜技术中，镀膜装置的沉积腔室配有加热系统，可移动的长带衬底由非加热区进入加热区，加热系统加热，但是由于长带衬底裸露在沉积腔室中，长带衬底升温较慢、温度不稳定、温区的均匀性差，导致移动中的长带衬底到达沉积区时温度未满足要求，引起镀膜时膜的均匀性差，以及加热系统能耗高等缺点。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种对长带衬底加热的保温装置，使长带衬底移动进入加热区时，长带衬底温度迅速提升，温度稳定。为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案:一种对长带衬底加热的保温装置，具有由若干方向围壁组合的本体，该本体至少带有前、后和底侧的围壁，且上侧为全开放口 ；在底侧的围壁上开设沉积孔；在前侧的围壁上分别开设一组测温探头用孔。所述对长带衬底加热的保温装置的本体还带有左、右侧的围壁，该左、右侧的围壁上开设供沉积镀膜作业的长带通过的通道槽口。所述对长带衬底加热的保温装置中，在后侧的围壁上开设一个激光入射孔。所述对长带衬底加热的保温装置中，在前侧的围壁上还开设一个羽辉观察孔或用红外测温仪测温的孔。所述对长带衬底加热的保温装置中，在前、后侧围壁的上边缘带有一组具有螺钉孔的凸臂。所述对长带衬底加热的保温装置的测温探头采用热电偶。所述对长带衬底加热的保温装置的沉积孔为圆形，其可以根据沉积区域的大小所变换。本实用新型的有益效果是:本保温装置在沉积腔室内对于可移动的长带衬底实行围设，以起到保温作用。使长带衬底从非加热区进入加热区时，可移动的长带衬底在加热区内由于被保温装置在一定程度上封闭而保温，从而使升温迅速，且热量向外散热少，以保证在到达沉积区时，长带衬底温度满足要求，镀膜均匀，并且起到节约能源的效果。
图1是本实用新型对长带衬底加热的保温装置一实施例的结构示意图(立体视图)。图2是图1所示实施例的结构示意图(主视)。[0015]图3是图1所示实施例的结构示意图(后视)。图4是图1所示实施例的结构示意图(仰视)。图5是图1所示实施例的结构示意图(左视)。
具体实施方式
以下仅以实施例说明本实用新型可能的实施态样，然而并非用以限制本实用新型所欲保护的范围。本实用新型对长带衬底加热的保温装置用于物理真空沉积镀膜中，主要是对沉积腔室内行进作业中的走带(即长带衬底)进行围设，以期外露部分尽量少，尽可能不使长带衬底上方加热装置发出的热量散失，起到保温的作用。本实用新型对长带衬底加热的保温装置可以是一个具有若干方向围壁组合起来的本体，该本体至少带有前、后和底侧的围壁，且上侧为全开放口，根据需要，除在其上相应的位置上要开设沉积孔和一组测温探头用孔外，还可选择性的开设激光入射孔和羽辉观察孔。图1至图5示出了本保温装置一较佳的实施例，该实施中，该本体I整体呈长方形态，带有前、后、左、右和底侧的围壁，以期可以将行进在加热装置下方的长带衬底尽可能的全部罩笼(移动的长带衬底多是由沉积腔室两端的收带轮与放带轮进行收放，作业时行进的长带衬底在加热装置下方通过，在加热的环境下进行对应的磁控溅射、电子束蒸发或热蒸发等相关技术的镀膜作业)；在左、右侧的围壁上开设供沉积镀膜的长带通过的通道槽口 3 ;在底侧的围壁上开设沉积孔5，该沉积孔5的尺寸大小可根据沉积区域的大小对应开设，本实施例中为圆孔；在前侧的围壁上分别开设一组测温探头用孔2，并同时开设羽辉观察孔6 (用于实验或作业观察)。请参阅图1至图3所示，所述前、后壁的上边缘设有一组凸台，该凸台开设有一组与上方的加热器组件连接用的固定螺钉孔7，以利于固定安装。根据全面的需要，如果考虑让本实用新型对长带衬底加热的保温装置可以同时适用于磁控溅射、电子束蒸和脉冲激光沉积镀膜作业，可以在本体I的对应侧围壁上开设激光入射孔4，使脉冲激光仪所发射的激光即可实施到长带上的有效部位，又能让长带衬底的保持良好的工艺环境。使用时，将固定螺钉孔I与上方的加热器组件固定连接，移动的长带衬底可被包容在本实用新型对长带衬底加热的保温装置所容置的空间内，作业中，工作人员可以通过羽辉观察孔6观察作业情况，作业时，长带逐步进入加热区，加热系统启动工作，由于本实用新型对长带衬底加热的保温装置的存在，在加热区内，可移动的长带衬底所在加热区一定程度上被封闭而保温，从而使升温迅速，受热均匀，以保证长带衬底工艺环境温度满足要求，从而镀膜的均匀性良好，且起到节约能耗的效果。
权利要求1.一种对长带衬底加热的保温装置，具有一由若干方向围壁构成的本体，其特征在于:该本体至少带有前、后和底侧的围壁，且上侧为全开放口 ；在底侧的围壁上开设沉积孔；在前侧的围壁上分别开设一组测温探头用孔。
2.根据权利要求1所述的对长带衬底加热的保温装置，其特征在于:所述的本体还带有左、右侧的围壁，该左、右侧的围壁上开设供沉积镀膜作业的长带通过的通道槽口。
3.根据权利要求1或2所述的对长带衬底加热的保温装置，其特征在于:在后侧的围壁上开设一个激光入射孔。
4.根据权利要求1所述的对长带衬底加热的保温装置，其特征在于:在前侧的围壁上还开设一个羽辉观察孔。
5.根据权利要求1所述的对长带衬底加热的保温装置，其特征在于:在前、后侧围壁的上边缘带有一组具有螺钉孔的凸臂。
6.根据权利要求1所述的对长带衬底加热的保温装置，其特征在于:所述的测温探头采用热电偶。
7.根据权利要求1所述的对长带衬底加热的保温装置，其特征在于:所述的沉积孔为圆形。
专利摘要本实用新型公开了一种对长带衬底加热的保温装置，具有一由若干方向围壁构成的本体，该本体至少带有前、后和底侧的围壁，且上侧为全开放口；在底侧的围壁上开设沉积孔；在前侧的围壁上分别开设一组测温探头用孔；其还带有左、右侧的围壁，该左、右侧的围壁上开设供沉积镀膜作业的长带通过的通道槽口；在底侧的围壁上开设圆形的沉积孔；在前围壁上分别开设一组测温探头用孔；在后围壁上开设激光入射孔；在前、后侧围壁的上边缘带有一组具有螺钉孔的凸臂；该装置可使长带衬底进入加热区时温度迅速提升且稳定，镀膜均匀性好，节约能耗。
文档编号C23C14/54GK203007399SQ201220672159
公开日2013年6月19日 申请日期2012年12月7日 优先权日2012年12月7日
发明者杨坚 申请人:北京有色金属研究总院