技术编号:3279362
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及利用等离子体进行成膜的成膜装置以及成膜方法,特别是涉及谋求提高成膜速率的。背景技术 汽车及两轮摩托车等的前灯(front lamp)、后灯(rear lamp)中使用的反射器是按照以下顺序层叠构成的,即在例如由塑料等构成的衬底上依次层叠由涂漆及六甲基二硅氧烷(hexamethyl disiloxane)等构成的底涂层膜、由Al等金属构成的反射膜、由六甲基二硅氧烷等构成的外保护膜。在制造这样的反射器时,首先涂底漆并形成底涂层膜,或者采用等离子体聚合...
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